| Палаты | Вертикальная ориентация, 1 дверь |
|---|---|
| Материал | Нержавеющая сталь 304/316 |
| Источник испарения | шлюпка оружия, тиглей, вольфрама Э-луча или тигли |
| Материалы низложения | СиО, ЗнС, алюминий, золото, серебр, хромий, медь, индий, окись олова индия, никель |
| Применения | Покрытие АР фильтра отрезка инфракрасн зеркала фильтра объектива репроектора жидкого кристалла объек |
