Катодные низложение дуги и Мулти - Коатер вакуума дуги

Что катодная дуга Депоситон?

Катодное низложение или дуга-ПВД дуги физический метод низложения пара в котором электрическая дуга использована для того чтобы испарить материал от цели катода. Испаренный материал после этого конденсирует на субстрате, формируя тонкий фильм. Метод можно использовать для того чтобы депозировать металлические, керамические, и составные фильмы.

Катодный процесс депоситон дуги:

Дуга испарение процесс начинает с поражающ большой ток, низшее напряжение дуга на поверхность катод (известный как цель) что дает подъем небольшому (обычно немного микрометров широко), сильно энергичная площадь поверхности эмиссии известная как катодное пятно. Локализованная температура на катодном пятне весьма высока (около 15000 °К), которое приводит в 10 км/с) двигателе высокой скорости (испаренного материала катода, выходящ кратер позади на поверхность катода. Катодное пятно только активно в течение короткого периода времени, тогда оно само-тушит и ре-воспламеняет в новой зоне близко к предыдущему кратеру. Это поведение причиняет кажущееся движение дуги.

По мере того как дуга по существу настоящий проводник нося она может быть повлияна на применением электромагнитного поля, которое на практике использовано быстро для того чтобы двинуть дугу над всей поверхностью цели, так, что полная поверхность будет выветрена с течением времени.

Дуга имеет весьма Если реактивный газ введен во время процесса испарения, то разобщенность, ионизация и возбуждение могут произойти во время взаимодействия с потоком иона и составной фильм будет депозирован.

Одна обратная сторона процесса испарения дуги что если пребывания катодного пятна на испарительный этап слишком долго оно могут выкинуть большое количество макрос-частицы или капелек. Эти капельки пагубны для представления покрытия по мере того как они бедно придержаны и могут проходить через покрытие. Хуже тишина если материал цели катода имеет низкую точку плавления как алюминий катодное пятно, то может испариться через цель приводящ в или будучи испарянным материале подкладочной плиты цели или охлажденной воде входя в камеру. Поэтому, магнитные поля как упомянуто ранее использованы для того чтобы контролировать движение дуги. Если цилиндрические катоды использованы, то катоды можно также вращать во время низложения. не позволять катодному пятну остаться в целях одного положения слишком длинных алюминиевых можно использовать и число капелек уменьшено. Некоторые компании также используют фильтрованные дуги которые используют магнитные поля для того чтобы отделить капельки от потока покрытия.

Катодное применение низложения дуги:

Катодное низложение дуги активно использовано для того чтобы синтезировать весьма трудный фильм для защиты поверхности режущих инструментов и для того чтобы расширить их жизнь значительно. Большое разнообразие тонкого трудно-фильма, Суперхард покрытий и покрытий нанокомпосите может быть синтезировано этой технологией включая олово, ТиАлН, КрН, ЗрН, АлКрТиН и ТиАлСиН.

Это также использовано довольно обширно особенно для низложения иона углерода для создания похожих на диамант фильмов углерода. Потому что ионы взорваны от поверхности баллистически, она общая для не только одиночных атомов, но более больших групп атомов, который нужно выкинуть. Таким образом, этот вид системы требует, что фильтр извлекает группы атома из луча перед низложением. Фильм ДЛК от фильтровать-дуги содержит весьма высокий процент диаманта сп³ который как тетраэдрический аморфный углерод, или животиков-К.

Фильтрованную катодную дугу можно использовать как источник иона/плазмы металла для вживления иона вживления иона и погружения плазмы и низложения (ПИИИ&Д).

Круглые катодные катоды дуги и цилиндрический катод дуги широко использованы для различных покрытий ПВД декоративных. 

Дизайн Мулти Коатер вакуума дуги:

Тип катодный источник Саблев дуги, который наиболее широко используемое в западе, состоит из цели короткой цилиндрической формы электрической проводной на катоде с одним открытым концом. Эта цель имеет электрическ-плавая деятельность металла окруженную кольцом как кольцо удерживания дуги (экран Стрел'ницкидж). Анод для системы может быть или стенкой камеры вакуума или дискретным анодом. Пятна дуги произведены механическим пуском (или инициатором воспламенения) поражая на открытом конце цели делая временно короткое замыкание между катодом и анодом. После пятен дуги быть произведенный они могут управляться магнитным полем или движением случайно в отсутствии магнитного поля.

Луч плазмы от катодного источника дуги содержит некоторые более большие группы атомов или молекул (так называемых макрос-частиц), которые предотвращают их от быть полезны для некоторых применений без некоторого вида фильтровать. Много дизайнов для фильтров макрос-частицы и изучать дизайн основан на работе И. И. Аксенов и др. в 70'с. Он состоит из склонности трубопровода квартал-торуса на 90 градусах от источника дуги и плазма направлена из трубопровода принципом оптики плазмы.

Также другие интересные дизайны как дизайн который включает прямой разъем фильтра трубопровода с катодом формы усеченного конуса как сообщено Д. А. Карпов в 90'с. Этот дизайн стал довольно популярным среди обоих тонких коатерс и исследователей трудно-фильма в России и странах бывшего СССР до настоящего времени. Катодный источник дуги можно сделать в длинную трубчатую форму (расширенн-дугу) или длинную прямоугольную форму но оба дизайна более менее популярны.

Пожалуйста советуйте с королевской технологией для ваших требования и применений. Удостаивают для того чтобы служить нашей команды вы с нашими страстью и методом.