Оставьте сообщение
Мы скоро тебе перезвоним!
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
Пожалуйста, проверьте свою электронную почту!
Больше информации способствует лучшему общению.
Отправлено успешно!
Мы скоро тебе перезвоним!
Оставьте сообщение
Мы скоро тебе перезвоним!
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
Пожалуйста, проверьте свою электронную почту!
Место происхождения: | СДЕЛАННЫЙ В КИТАЕ |
---|---|
Фирменное наименование: | ROYAL |
Сертификация: | CE |
Номер модели: | RTAS1000 |
Количество мин заказа: | 1 набор |
Цена: | negotiable |
Упаковывая детали: | Стандарт экспорта, быть упакованным в новых делах/коробках, соответствующих для международных океана |
Время доставки: | 8 до 12 недель |
Условия оплаты: | L/C, T/T |
Поставка способности: | 5 наборов в месяц |
Имя: | Тантал PVD брызгая машина низложения | Покрытия: | Тантал, золото, серебряный etc. |
---|---|---|---|
Технология: | Пульсированный брызгать DC | Применение: | Индустрия микроэлектроники, медицинские инструменты, покрытия на коррозионностойких частях, |
Свойства фильма животиков: | Тантал больше всего использован в электронной промышленности как защитное покрытие из-за своего хоро | ||
Высокий свет: | vacuum coating plant,high vacuum coating machine |
Брызгать магнетрона широко использован для того чтобы депозировать тугоплавкие металлы как тантал, титан, вольфрам, ниобий, который требовали бы очень высоких температур низложения, и драгоценные металлы: Золото и серебр и что также использованы для низложения более низких металлов точек плавления как медь, алюминий, никель, хром etc.
Тантал больше всего использован в электронной промышленности как защитное покрытие из-за своего хорошего сопротивления к размыванию.
Применения фильма тантала Sputtered тонкого:
1. индустрию микроэлектроники по мере того как фильмы можно реактивно брызгать и таким образом коэффициент резистивности и температуры сопротивления можно контролировать;
Технические преимущества
Тантал королевской технологии унифицированный брызгая система низложения:
Основные конфигурации | |
МОДЕЛЬ | RTAS1000 |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Пульсированный брызгать магнетрона DC Катодная плакировка дуги (для варианта, определенная путем покрывать процесс) |
МАТЕРИАЛ КАМЕРЫ | Нержавеющая сталь (S304) |
РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1000*1000mm (h) |
ТИП КАМЕРЫ | Форма d, цилиндрическая камера |
ШКАФ ВРАЩЕНИЯ & СИСТЕМА ДЖИГА | Спутниковый управлять или центральная вынуждающая система |
ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ |
DC брызгая электропитание: 2~4 набора Источник иона: 1 набор |
МАТЕРИАЛ НИЗЛОЖЕНИЯ | Животики, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu etc. |
ИСТОЧНИК НИЗЛОЖЕНИЯ | Плоскостные катоды брызгать + катоды дуги круга |
КОНТРОЛЬ | PLC (Programmable регулятор логики) + IPC (модели деятельности manual+ auto+ полу-автоматические) |
НАСОСНАЯ СИСТЕМА | Роторный насос лопасти: SV300B – 1 набор (Leybold) |
Корни нагнетают: WAU1001 – 1 набор (Leybold) | |
Удержание насоса: D60C – 1 набор (Leybold) | |
Насос магнитного подвеса молекулярный: MAG2200 – 2 sest (Leybold) |
|
РЕГУЛЯТОР ПОТОКА ГАЗА МАССОВЫЙ | 2 канала: Ar и N2 |
ДАТЧИК ВАКУУМА | Inficon или Leybold |
СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и equipmen |
ТОПЛЕНИЕ | Подогреватели: 20KW. Максимальный temp.: 450℃ |
ОХЛАЖДАТЬ | Промышленный охладитель (холодная вода) |
СИЛА МАКСИМАЛЬНАЯ. | 100KW (приблизительно) |
ПОТРЕБЛЕНИЕ СРЕДНЕЙ МОЩНОСТИ | 45 KW (приблизительно) |
ВЕС БРУТТО | T (приблизительно) |
ПЕЧАТЬ НОГИ | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
ЭЛЕКТРОПИТАНИЕ |
Линия phases/50HZ/5 AC 380V/3 |
Insite:
Построенное время: 2018
Положение: Китай
Пожалуйста свяжитесь мы для больше применений и спецификаций.