ITO вакуумная вакуумная пленка для пленки с пленкой для пленки с пленкой
Мы рады предложить наш MultiWeb-Series Roll to Roll Vacuum Sputtering Web Coater для удовлетворения ваших требований к многослойным отложениям.
MultiWeb Coater обеспечивает следующие ключевые функции:
A. Одна камера, разделенная на зоны с большим давлением для размещения различных источников осаждения.
B. Возможности одновременного отложения из нескольких источников в одном проходе сетки для многослойного покрытия.
С. Сменное направление обмотки сетки позволяет откладывать неограниченные слои без нарушения вакуума.
D. Механизмы точного обработки сетки с краевым руководством, позволяющие многократные прохождения без потери выравнивания (необязательно).
E. Система привода AC Invert для точного управления несколькими скоростями.
F. Встроенные оптические и/или резистентные системы контроля толщины, для контроля точной толщины отложения и его однородности (необязательно).
G. Камера изготовлена из нержавеющей стали SUS304L с низкими газификационными компонентами для обеспечения более глубокого вакуума.
H. Вакуумное откачивание с помощью комбинации турбомолекулярного насоса и низкотемпературной криогенной системы, обеспечивающей чистый вакуум без влаги или загрязнения маслом.
ITO Машина для вакуумного покрытия вакуумных пленок для распыливания
1Материал субстрата: ПЭТ, ПЕН, ПЭС, ПИ, ПК, ПА,...
2Толщина подложки: 15~300 мкм
3. Способы осаждения: AC реактивный для SiO2 ((диэлектрический); импульсирующий постоянный ток для ITO (металл и проводник)
4Оксидный проводник TCO: ITO, AZO, IZO...
5Металлический проводник:
6Оптическая пленка: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7Полупроводники: ZnO, InGaZnO...
8Изолятор: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9Однородность: ± 5% по всему полотну
Описание машины для нанесения вакуумного покрытия ITO Roll to Roll Sputtering Web
| Общие спецификации | |||||||
| Тело вакуумной камеры: однокамерные зоны многодавления | |||||||
| Подвижные вагоны: Веб-коляска | |||||||
| Зона депонирования: 2 X Зона распыливания (необязательно: 3 Зона распыливания) | |||||||
| Источник распыливания: 2 X источник распылителя с двумя катодами (необязательно: 3 источника распылителя с двумя катодами) | |||||||
| Предварительная обработка субстрата: линейный ионный источник | |||||||
| Ширина сетки: 1300 мм | |||||||
| Диаметр обмотки: Φ600 мм максимум | |||||||
| Направление обмотки: двунаправленное | |||||||
| Толщина подложки: 15~300μm | |||||||
| Скорость веб-линии:00,5-10,0 М/мин | |||||||
| Напряжение сети: 5,0PLI Max 0,5PLI Min | |||||||
| Выравнивание сетки: ±3 мм (один проход) | |||||||
| Высоковакуумный насос: турбонасос | |||||||
| Вакуумный насос: сухой насос и комбинация вентилятора | |||||||
| Насос влаги: полихолодный криогенный | |||||||
| Контроль толщины осаждения: мониторинг (необязательно) | |||||||
| a: оптическая передача; b: сопротивление вихревого тока | |||||||
| Работа системы: работа компьютерной системы на базе ПЛК |
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных сведений, Royal Technology с честью предоставит вам полные решения по покрытию.
