Лакировочная машина ДК магнетрона распыляя/система ДК распыляя
Модели магнетронного распыления: распыление постоянным током, распыление MF, распыление RF
Что такое напыление постоянным током?
Напыление постоянным током в основном используется для распыления мишеней из чистого металла, таких как: хром, титан, алюминий, медь, нержавеющая сталь, никель, серебро, золото для пленок с высокой проводимостью.
Напыление постоянным током — это метод нанесения покрытия методом физического осаждения из паровой фазы (PVD) тонкой пленки, при котором целевой материал, используемый в качестве покрытия, бомбардируется молекулами ионизированного газа, в результате чего атомы «распыляются» в плазму.Эти испаренные атомы затем осаждаются, когда они конденсируются в виде тонкой пленки на подложке, подлежащей покрытию.
Напыление на постоянном токе является самым простым и недорогим типом напыления для осаждения металла методом PVD и электропроводящих материалов покрытия мишени.Два основных преимущества постоянного тока в качестве источника питания для этого процесса заключаются в том, что им легко управлять и он является недорогим вариантом, если вы выполняете напыление металла для покрытия.
Напыление постоянным током широко используется в полупроводниковой промышленности для создания схем микрочипов на молекулярном уровне.Он используется для покрытия золотым напылением ювелирных изделий, часов и другой декоративной отделки, для неотражающих покрытий на стекле и оптических компонентах, а также для металлизированного упаковочного пластика, автомобильных зеркал, отражателей автомобильного освещения, автомобильных колес и ступиц и т. д.
Машина для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного токаПроизводительность
1. Предельное вакуумметрическое давление: лучше 5,0×10-6Торр.
2. Рабочее давление вакуума: 1,0×10-4Торр.
3. Время откачки: от 1 атм до 1,0×10-4Torr≤ 3 минуты (комнатная температура, сухая, чистая и пустая камера)
4. Металлизирующий материал (напыление + дуговое напыление): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC и др.
5. Операционная модель: полностью автоматический/полуавтоматический/ручной
Структура машины для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного тока
Вакуумная лакировальная машина содержит ключевую завершенную систему, указанную ниже:
1. Вакуумная камера
2. Вакуумная насосная система для промывки (блок форвакуумного насоса)
3. Высоковакуумная насосная система (молекулярный насос с магнитной подвеской)
4. Электрическая система управления и эксплуатации
5. Система вспомогательных помещений (подсистема)
6. Система осаждения: распыляющий катод постоянного тока, источник питания постоянного тока, источник питания смещения.
Машина для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного токаХарактеристики
| РТСП1250-ДК | |||||||
| МОДЕЛЬ | РТСП1250-ДК | ||||||
| ТЕХНОЛОГИИ | Магнетронное напыление (DC) + ионное покрытие | ||||||
| МАТЕРИАЛ | Нержавеющая сталь (S304) | ||||||
| РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1250*H1250мм | ||||||
| ТИП КАМЕРЫ | Цилиндр, вертикальный, 1-дверный | ||||||
| СИСТЕМА РАСПЫЛЕНИЯ | Исключительно для нанесения тонкой черной пленки | ||||||
| ДЕПОЗИЦИОННЫЙ МАТЕРИАЛ | Алюминий, серебро, медь, хром, нержавеющая сталь, никель, титан | ||||||
| ИСТОЧНИК ОТЛОЖЕНИЯ | Цилиндрические/плоские мишени для распыления + 7 источников управляемой катодной дуги | ||||||
| ГАЗ | MFC- 4 направления, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| КОНТРОЛЬ | ПЛК (программируемый логический контроллер) + Сенсорный экран |
||||||
| НАСОСНАЯ СИСТЕМА | SV300B - 1 комплект (Лейболд) | ||||||
| WAU1001 - 1 комплект (Лейболд) | |||||||
| D60T- 2 комплекта (Leybold) | |||||||
| Турбомолекулярные насосы: 2* F-400/3500 | |||||||
| ПРЕДВАРИТЕЛЬНАЯ ОБРАБОТКА | Источник питания смещения: 1*36 кВт | ||||||
| СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные защитные блокировки для защиты операторов и оборудование |
||||||
| ОХЛАЖДЕНИЕ | Холодная вода | ||||||
| СИЛОВАЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ | 480 В/3 фазы/60 Гц (соответствует требованиям США) | ||||||
| 460 В/3 фазы/50 Гц (соответствует требованиям Азии) | |||||||
| 380 В/3 фазы/50 Гц (соответствует требованиям ЕС-СЕ) | |||||||
| СЛЕД | Л3000*В3000*В2000мм | ||||||
| ОБЩИЙ ВЕС | 7,0 т | ||||||
| СЛЕД | (Д*Ш*В) 5000*4000 *4000 мм | ||||||
| ВРЕМЯ ЦИКЛА | 30~40 минут (в зависимости от материала подложки, геометрия подложки и условия окружающей среды) |
||||||
| МОЩНОСТЬ МАКС.. | 155кВт | ||||||
| СРЕДНЯЯ ПОТРЕБЛЯЕМАЯ ЭНЕРГИЯ (ПРИБЛ.) | 75кВт | ||||||
У нас есть больше моделей для вашего выбора!
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.
