Оборудование низложения металла вакуума высокой эффективности, metallizer вакуума CsI термальным тиглем
Ключевые слова: высокое разрешение, CsI: T1; тонкие фильмы scintillator; Воображение рентгеновского снимка; метод вакуумного напыления, пост-низложение слоя углерода
Низложение тонкого фильма CsI для устройств обработки изображений рентгеновского снимка предварительный метод для того чтобы испарить CsI на экране для того чтобы дать высококачественное воображения. Со своим высоким представлением разрешения, также широко используемым в проверке и осмотре безопасностью, вопросах физики высоких энергий, физике зон etc ядерной энергии.
Термальная система покрытия испарения RTEP0913 была начата для низложения фильма CsI на воображении рентгеновского снимка в окружающей среде давления глубокого вакуума. Scintillators T1 CsI выстраивая в ряд от μm 2 к μm 14 в толщине. Фильм слоя углерода можно рассматривать, что как пост-низложение улучшил высокие разрешения.
Проведение и характеризации вакуумного напыления иодида цезия (T1 CsI)
Тип:
l вертикальная ориентация, цилиндр, 1 дверь, переднее отверстие.
Конструктивные особенности:
l ультравысокое окончательное давление вакуума: до PA 9.0*10-5;
l быстрые топления приборы вверх для хорошего прилипания;
l свойственный выбор вачуумного насоса глубокого вакуума и насосная система, который нужно избежать для того чтобы рискнуть материальное, который подвергли действию в воздух;
система l крепкая, компактная и твердая покрывая;
l высокая стабильность, работая 960 часов без стопа.
l прибор регулятора толщины фильма Inficon для того чтобы контролировать толщину фильма последовательно.
l исключительно тигли конструирует и выбор для низложения CsI.
l субстраты покрывая, максимальный размер: 500*500mm
l выдвинул идеи проекта шкафа может нагрузить субстраты 2 частей в серию, сильно увеличивает выход продукции.
Технические данные:
l представление
1. окончательное давление вакуума: лучший чем PA 9.0*10-5;
2. работая давление вакуума: PA 6,0*10-4 | PA9,0*10-4;
Давление донного разрежения: PA 3,0*10-4
3. Нагнетая время простоя: от ≤ PA 1 atm к 2,0×10-325 камер минут (комнатной температуры, сухого, чистых и пустых)
4. Источник низложения: испарение тигля кварца термальное
5. Работая модель: Вполне автоматически /Semi-Auto/ вручную
6. Топление: от комнатной температуры до максимального 1000℃,
Субстрат TFT стеклянный нагревая вверх время: от 0~250℃<40mins>
7. Тариф низложения CsI: 0~100nm/sec
8. CsI: Толщина фильма T1: до 600μm
l структура
Лакировочная машина вакуума содержит ключевую завершенный систему перечисленную ниже:
1. Камера вакуума
1,1 размер: Внутренний диаметр 900mm
Внутренняя высота: 1300 mm
1,2 материал: Камера вакуума SUS304
Дверь и фланцы SUS304
Камера усиливает структуру: Слабая сталь SS41, с покрашенным заканчивая поверхностным покрытием.
Сталь шасси SS41 камеры слабая с покрашенным заканчивая поверхностным покрытием.
1,3 экран испарения: SUS304
1,4 окно взгляда: на двери камеры
1,5 клапан сброса давления камеры вакуума (включая звукоглушитель)
1,6 дверь: Материал SUS304
2. Насосная система вакуума обдирки:
Вакуумный насос + корни лопасти масла роторные нагнетают (Германия Pfeiffer)
3. насосная система глубокого вакуума:
Насос магнитного подвеса молекулярный (Германия Pfeiffer)
4. Электрический экран касания системы PLC+ контроля и деятельности
4,1 основная цепь: переключатель выключателя Никак-взрывателя, электромагнитный переключатель, тип C/T последовательно
4,2 сила испарения
4,3 система управления испарения
4,4 система деятельности: Экран касания + PLC, управление рецепта и регистрация данных, автоматическое выключение, автоматическое опорожнение, автоматическое покрытие
4,5 измеряя система
Давление вакуума: Датчик вакуума: Pirani + пишущ датчик + датчик вакуума полного диапасона
Измеряющий прибор температуры: Термопара
Регулятор толщины фильма: Бренд Inficon, SQC-310
4,6 аварийная система: Обжатое воздушное давление, подача охлажденной воды, Mis-деятельность
4,7 индикатор силовой нагрузки: Индикатор напряжения тока и индикатор нагрузки настоящий
5. система низложения
5,1 источник низложения: тигель кварца
5,2 материал низложения: CsI, углерод
6. Подсистема
6,1 обжатая воздухом система управления клапана
6,2 охлаждая система водообеспечения: Система клапана трубы и переключателя подачи воды
Рабочая Среда
Обжатый воздух: 5~8kg/cm2
Охлажденная вода: Вод-в температуре: 20~25℃, 200 литров/минута,
Вод-в давлении: 2~3 kg/cm2,
Сила: 3 участок 380V 50Hz (60Hz), 65kVA, потребление средней мощности: 30KW
Район установки: (L*W*H) 3000*200*2300mm
Вытыхание: Сброс для механических насосов
Пожалуйста свяжитесь мы для больше спецификаций, королевская технология удостаивает для того чтобы обеспечить вам полные покрывая решения.
