Отправить сообщение

Система вакуумного напыления PVD+PECVD, покрытие фильма DLC процессом PECVD

1 набор
MOQ
negotiable
цена
Система вакуумного напыления PVD+PECVD, покрытие фильма DLC процессом PECVD
Характеристики Галерея Характер продукции Спросите цитату
Характеристики
Характеристики
Камера: Вертикальная ориентация, 2 двери
Источники низложения: Балансное/несбалансированное закрытое магнитное поле
Техника: PECVD, сбалансированный/несбалансированный магентронный распыляющий катод
Приложения: Автомобильная промышленность, полупроводники, покрытие SiC, осаждение пленки DLC,
Особенности фильма: износостойкость, сильная адгезия, декоративные цвета покрытия
Положение фабрики: Город Шанхая, Китай
Всемирное обслуживание: Польша - Европа; Иран западные Азия & Ближний Восток, Турция, Индия, Мексика Южная Америка
Образовательная услуга: Деятельность машины, обслуживание, покрывая отростчатые рецепты, программа
Гарантия: Ограниченная гарантия 1 год бесплатно, вся жизнь для машины
ОЕМ и ОДМ: доступный, мы поддерживаем дизайн и изготовление сделанные портноем
Высокий свет:

vacuum coating plant

,

high vacuum coating machine

Основная информация
Место происхождения: Сделано в Китае
Фирменное наименование: ROYAL
Сертификация: CE
Номер модели: Multi950
Оплата и доставка Условия
Упаковывая детали: Экспортируйте стандарт, быть упакованным в новых делах/коробках, соответствующих для международных о
Время доставки: 16 недель
Условия оплаты: Л/К, Т/Т
Поставка способности: 26 комплектов в месяц
Характер продукции

Королевская технология Multi950
—— Машина для вакуумного напыления PVD + PECVD

Машина Multi950 представляет собой специализированную многофункциональную систему вакуумного напыления для исследований и разработок.

После интенсивных обменов мнениями с командой Шанхайского университета под руководством профессора Чена мы, наконец, подтвердили дизайн и конфигурацию для выполнения их приложений для исследований и разработок.Эта система способна наносить прозрачную DLC-пленку с помощью процесса PECVD, твердые покрытия на инструменты и оптическую пленку с распыляющим катодом.Основываясь на этой концепции конструкции экспериментальной машины, мы впоследствии разработали 3 другие системы покрытий:

1. Биполярное покрытие для электромобилей на топливных элементах — FCEV1213

2. Керамическая медь с прямым покрытием - DPC1215

3. Гибкая система напыления - система золочения медных печатных плат.

Все эти 3 машины имеют восьмиугольную камеру, что обеспечивает гибкую и надежную работу в различных областях применения.Он удовлетворяет процессам нанесения покрытия и требует множества различных металлических слоев: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS и многих других неферромагнитных металлов.Кроме того, блок источника ионов эффективно улучшает адгезию пленок к различным материалам подложки благодаря характеристикам плазменного травления и процессу PECVD для осаждения некоторых слоев на основе углерода.

Multi950 является вехой передовых систем покрытий для Royal Technology.Благодаря студентам Шанхайского университета и профессору Игангу Чену, возглавлявшему их с его творческой и самоотверженной самоотверженностью, мы смогли преобразовать его ценную информацию в современную машину.

В 2018 году у нас было еще одно проектное сотрудничество с профессором Ченом,
нанесение материала С-60 методом индукционного термического испарения.
Г-н Имоу Ян и профессор Чен сыграли фундаментальную роль в этих инновационных проектах.

Система вакуумного напыления PVD+PECVD, покрытие фильма DLC процессом PECVD 0

Технические преимущества

  • Компактный размер
  • Стандартная модульная конструкция
  • Гибкий
  • Надежный
  • Восьмиугольная структура камеры
  • 2-дверная структура для легкого доступа
  • Процессы PVD + PECVD

Особенности дизайна

1. Гибкость: Дуговые и распылительные катоды, монтажные фланцы источника ионов стандартизированы для гибкой замены.

2. Универсальность: он может наносить различные основные металлы и сплавы;оптические покрытия, твердые покрытия, мягкие покрытия, составные пленки и твердые смазочные пленки на подложках из металлических и неметаллических материалов

3. Простая конструкция: 2-дверная конструкция, переднее и заднее открывание для удобства обслуживания.

Система вакуумного напыления PVD+PECVD, покрытие фильма DLC процессом PECVD 1

Технические характеристики

Модель: Мульти-950

Камера осаждения (мм)

Диаметр x высота: φ950 x 1350

Источники осаждения: 1 пара катодов для распыления MF.

1 пара PECVD

8 комплектов дуговых катодов

1 комплект линейного источника ионов

Зона однородности плазмы (мм): φ650 x H750

Карусель: 6 xφ300

Мощность (кВт) Смещение: 1 x 36

Мощность распыления MF (кВт): 1 x 36

PECVD (кВт): 1 x36

Дуга (кВт): 8 х 5

Источник ионов (кВт): 1 x 5

Система управления газом MFC: 4 + 1

Система отопления: 18 кВт, до 500 ℃, с ПИД-регулированием тепловой пары

Задвижка высокого вакуума: 2

Турбомолекулярный насос: 2 x 2000 л/с

Насос Рутса: 1 х 300 л/с

Ротационно-лопастной насос: 1 x 90 м³/ч + 1 x 48 м³/ч

След (Д х Ш х В) мм: 3000 * 4000 * 3200

Общая мощность (кВт): 150

Макет

Система вакуумного напыления PVD+PECVD, покрытие фильма DLC процессом PECVD 2 Система вакуумного напыления PVD+PECVD, покрытие фильма DLC процессом PECVD 3
 
Insite

Время постройки: 2015 г.

Местонахождение: Шанхайский университет, Китай

 
Система вакуумного напыления PVD+PECVD, покрытие фильма DLC процессом PECVD 4
 
 
Порекомендованные продукты
Свяжись с нами
Контактное лицо : ZHOU XIN
Факс : 86-21-67740022
Осталось символов(20/3000)