Лакировочная машина для тонких пленок меди, установка для напыления тонких пленок Au проводная, система для нанесения покрытий серебряным напылением
МедьВакуумная установка для нанесения покрытий с магнетронным напылением
1) Регулируемость толщины пленки и хорошая повторяемость, может быть надежной системой предварительно нанесенной толщины пленок и напылением на большую поверхность однородной пленки;
2) Адгезия пленки и подложки очень хорошая.Некоторые из высокой энергии распыленных атомов для создания различных уровней явления инжекции, псевдодиффузионного слоя, сформированного на слое подложки из распыленных атомов и атомов подложки, сплавленных друг с другом;
3) Подготовка специального материала пленки, вы можете использовать различные материалы и напылять гибридную пленку, составную пленку, также можно напылять на пленку, имитирующую золото TiN.
МедьХарактеристики вакуумной установки для нанесения покрытий с магнетронным напылением
| Машина для нанесения магнетронного напыления | ||||||
| Производительность | РТСП-700 | RTSP-900 | RTSP-1000 | RTSP-1250 | RTSP-1400 | RTSP-1600 |
| Размер камеры покрытия | 700*В900мм | 900*В1100мм | 1000*В1200мм | 1250*В1350мм | 1400*В1600мм | 1600*В1800мм |
| Тип источника питания | Источник питания накала, источник питания импульсного смещения, источник питания магнетрона постоянного тока, источник питания магнетрона промежуточной частоты, источник питания радиочастотного магнетрона, источник линейной ионизации | |||||
| Структура вакуумной камеры | Вертикальная двойная дверь, вертикальная конструкция передней двери, задняя система выпуска воздуха | |||||
| Материал вакуумной камеры | Полость из высококачественной нержавеющей стали | |||||
| Предельный вакуум | 6,0*10-4Па | |||||
| Время откачки (без нагрузки) | Прокачайте атмосферу до 8.0*10-3>Па ≤15 минут | |||||
| Система сбора вакуума | Диффузионный насос или молекулярный насос + насос Рутса + механический насос + пластинчато-роторный насос (конкретная модель может быть сконфигурирована в соответствии с требованиями заказчика) | |||||
| Режим покрытия | Покрытие магнетронным напылением | |||||
| Тип пленки | Металлическая пленка, реактивная пленка, составная пленка, многослойная пленка и полупроводниковая пленка | |||||
| Тип мишени магнетрона | Прямоугольная мишень магнетрона, цилиндрическая мишень магнетрона и двойная мишень магнетрона | |||||
| Мощность питания магнетрона и количество мишеней магнетрона | Выберите в соответствии с различным процессом нанесения покрытия и требованиями заказчика | |||||
| Источник питания смещения | 10кВт/1 блок | 20кВт/1 блок | 20кВт/1 блок | 30кВт/1 блок | 40кВт/1 блок | 50кВт/1ед. |
| Режим вращения поворотного стола заготовки | Планетарное вращение и авторотация, частотно-регулируемая регулировка скорости (управляемая и регулируемая) | |||||
| Технологический газ | 3-канальная или 4-канальная система управления и индикации расхода технологического газа, селективная автоматическая система подачи газа | |||||
| Режим охлаждения | Режим охлаждения с циркуляцией воды, градирня или промышленный охладитель воды или система глубокого охлаждения.(Предоставлено клиентами) | |||||
| Режим управления | Ручной/автоматический режим интеграции, сенсорный экран, управление с помощью ПЛК или компьютера | |||||
| Суммарная мощность | 30кВт | 35кВт | 40кВт | 50кВт | 65кВт | 80кВт |
| Сигнализация и защита | Предупредите о нехватке воды, перегрузке по току и перенапряжении, разомкнутой цепи и других ненормальных состояниях насосов, целей и т. д., а также выполните соответствующие защитные меры и функцию электрической блокировки. | |||||
| Зона оборудования | Ш2м*Д3м | Ш2.5м*Д3.5м | Ш3м*Д4м | Ш4м*Д5м | Ш4.5м*Д6м | Ш5м*Д7м |
| Другие технические параметры | Давление воды ≥0,2 МПа, температура воды ≤25°C, давление воздуха: 0,5-0,8 МПа | |||||
| Примечания | Конкретная конфигурация оборудования для нанесения покрытий может быть разработана в соответствии с технологическими требованиями к продуктам для нанесения покрытий. | |||||
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.
