Машина для нанесения покрытий с магнетронным напылением постоянного и среднего тока, решения для нанесения покрытий Deep Black PVD
Покрытие магнетронным напылением
Плазменное покрытие
Магнетронное напыление представляет собой процесс плазменного покрытия, при котором распыляемый материал выбрасывается из-за бомбардировки ионами поверхности мишени.Вакуумная камера установки для нанесения покрытия методом PVD заполнена инертным газом, например аргоном.При подаче высокого напряжения создается тлеющий разряд, в результате чего происходит ускорение ионов к поверхности мишени и плазменное покрытие.Ионы аргона будут выбрасывать распыляемые материалы с поверхности мишени (распыление), в результате чего на продуктах перед мишенью образуется напыленный слой покрытия. Технология магнетронного напыления характеризуется:
| МОДЕЛЬ | RTAC1250-SPMF | ||||||
| ТЕХНОЛОГИИ | Магнетронное напыление MF + ионное покрытие | ||||||
| МАТЕРИАЛ | Нержавеющая сталь (S304) | ||||||
| РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1250 * В1250мм | ||||||
| ТИП КАМЕРЫ | Цилиндр, вертикальный, 1-дверный | ||||||
| СИСТЕМА РАСПЫЛЕНИЯ | Исключительно для нанесения тонкой черной пленки | ||||||
| ДЕПОЗИЦИОННЫЙ МАТЕРИАЛ | Алюминий, серебро, медь, хром, нержавеющая сталь, никель |
||||||
| ИСТОЧНИК ОТЛОЖЕНИЯ | 2 комплекта цилиндрических мишеней для распыления MF + 8 источников управляемой катодной дуги + источник ионов | ||||||
| ГАЗ | MFC- 4 направления, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| КОНТРОЛЬ | ПЛК (программируемый логический контроллер) + | ||||||
| НАСОСНАЯ СИСТЕМА | SV300B - 1 комплект (Лейболд) | ||||||
| WAU1001 - 1 комплект (Лейболд) | |||||||
| Д60Т- 1 комплект (Лейболд) | |||||||
| Турбомолекулярные насосы: 2* F-400/3500 | |||||||
| ПРЕДВАРИТЕЛЬНАЯ ОБРАБОТКА | Источник питания смещения: 1*36 кВт | ||||||
| СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные защитные блокировки для защиты операторов | ||||||
| ОХЛАЖДЕНИЕ | Холодная вода | ||||||
| СИЛОВАЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ | 480 В/3 фазы/60 Гц (соответствует требованиям США) | ||||||
| 460 В/3 фазы/50 Гц (соответствует требованиям Азии) | |||||||
| 380 В/3 фазы/50 Гц (соответствует требованиям ЕС-СЕ) | |||||||
| СЛЕД | Л3000*В3000*В2000мм | ||||||
| ОБЩИЙ ВЕС | 7,0 т | ||||||
| СЛЕД | (Д*Ш*В) 5000*4000 *4000 мм | ||||||
| ВРЕМЯ ЦИКЛА | 30~40 минут (в зависимости от материала подложки, геометрия подложки и условия окружающей среды) |
||||||
| МОЩНОСТЬ МАКС.. | 155 кВт | ||||||
| СРЕДНЯЯ МОЩНОСТЬ РАСХОД (ПРИБЛ.) |
75 кВт |
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.
