AlN откалывает медную систему брызгать Depostion, медь нитрида алюминия PVD брызгая машина
Представление
1. Окончательное давление вакуума: лучший чем торр. 5.0×10-6.
2. Работая давление вакуума: Торр. 1.0×10-4.
3. Время Pumpingdown: от 1 atm к 1.0×10-4 Torr≤ 3 камеры минут (комнатной температуры, сухого, чистых и пустых)
4. Металлизировать материал (брызгая + испарение дуги): Ni, Cu, Ag, Au, ti, Zr, Cr etc.
5. Работая модель: Вполне автоматически /Semi-Auto/ вручную
Структура
Лакировочная машина вакуума содержит ключевую завершенный систему перечисленную ниже:
1. Камера вакуума
2. Насосная система вакуума Rouhging (пакет насоса предварительной откачки)
3. Система вачуумного насоса глубокого вакуума (магнитно насос подвеса молекулярный)
4. Электрическая система контроля и деятельности
5. Система объекта Auxiliarry (подсистема)
6. Система низложения
Медные главные особенности лакировочной машины брызгать
1. Оборудованный с 8 катодами дуги кормила и DC брызгая катоды, MF брызгая катоды, блок источника иона.
2. Покрытие разнослоистых и со-низложения доступное
3. Источник иона для пре-обработки и ионного луча чистки плазмы помог низложению для увеличения прилипания фильма.
4. Керамический Al2O3/AlN субстратов топления блок вверх;
5. Система вращения и революции субстрата, для 1 бортового покрытия и покрывать 2 сторон.
Магнетрон бондаря брызгая завод покрытия на керамическом субстрате излучать
Медь процесса DPC сразу покрывая предварительная покрывая технология приложенная с СИД/полупроводником/электронными промышленностями. Одно типичное применение керамическое излучающ субстрат.
Низложение фильма бондаря проводное на Al2O3, субстратах AlN вакуумом PVD брызгая технология, сравненная с традиционными производственными прочессами: DBC LTCC HTCC, гораздо ниже цена производства своя высокая особенность.
Королевская команда технологии assited наш клиент к превращенный процессу DPC успешно с PVD брызгая технология.
Машина RTAC1215-SP конструированная исключительно для медного проводного покрытия на керамических обломоках, керамической монтажной платы фильма.
Пожалуйста свяжитесь мы для больше спецификаций, королевская технология удостаивает для того чтобы обеспечить вам полные покрывая решения.