Брызгать магнетрона широко использован для того чтобы депозировать тугоплавкие металлы как тантал, титан, вольфрам, ниобий, который требовали бы очень высоких температур низложения, и драгоценные металлы: Золото и серебр и что также использованы для низложения более низких металлов точек плавления как медь, алюминий, никель, хром etc.
Тантал больше всего использован в электронной промышленности как защитное покрытие из-за своего хорошего сопротивления к размыванию.
Применения фильма тантала Sputtered тонкого:
1. индустрию микроэлектроники по мере того как фильмы можно реактивно брызгать и таким образом коэффициент резистивности и температуры сопротивления можно контролировать;
Технические преимущества
Тантал королевской технологии унифицированный брызгая система низложения: RTSP1000
Основные конфигурации | |
МОДЕЛЬ | RTSP1000 |
ТЕХНОЛОГИЯ |
Пульсированный брызгать магнетрона DC Катодная плакировка дуги (для варианта, определенная путем покрывать процесс) |
МАТЕРИАЛ КАМЕРЫ | Нержавеющая сталь (S304) |
РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1000*1600mm (h) |
ТИП КАМЕРЫ | Форма d, цилиндрическая камера |
ШКАФ ВРАЩЕНИЯ & СИСТЕМА ДЖИГА | Спутниковый управлять или центральная вынуждающая система |
ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ |
DC брызгая электропитание: 2~4 набора Источник иона: 1 набор |
МАТЕРИАЛ НИЗЛОЖЕНИЯ | Животики, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu etc. |
ИСТОЧНИК НИЗЛОЖЕНИЯ | Плоскостные катоды брызгать + катоды дуги круга |
КОНТРОЛЬ | PLC (Programmable регулятор логики) + IPC (модели деятельности manual+ auto+ полу-автоматические) |
НАСОСНАЯ СИСТЕМА | Роторный насос лопасти: SV300B – 1 набор (Leybold) |
Корни нагнетают: WAU1001 – 1 набор (Leybold) | |
Удержание насоса: D60C – 1 набор (Leybold) | |
Насос магнитного подвеса молекулярный: MAG2200 – 2 sest (Leybold) |
|
РЕГУЛЯТОР ПОТОКА ГАЗА МАССОВЫЙ | 2 канала: Ar и N2 |
ДАТЧИК ВАКУУМА | Inficon или Leybold |
СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и equipmen |
ТОПЛЕНИЕ | Подогреватели: 20KW. Максимальный temp.: 450℃ |
ОХЛАЖДАТЬ | Промышленный охладитель (холодная вода) |
СИЛА МАКСИМАЛЬНАЯ. | 100KW (приблизительно) |
ПОТРЕБЛЕНИЕ СРЕДНЕЙ МОЩНОСТИ | 45 KW (приблизительно) |
ВЕС БРУТТО | T (приблизительно) |
ПЕЧАТЬ НОГИ | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
ЭЛЕКТРОПИТАНИЕ |
Линия phases/50HZ/5 AC 380V/3 |
Insite:
Построенное время: 2018
Положение: Китай
Пожалуйста свяжитесь мы для больше применений и спецификаций.