Характеристики оборудования для нанесения керамического покрытия PVD:
1. Вакуумная камера вертикальная с одной открытой дверью, изготовлена из нержавеющей стали 304, внутренний диаметр вакуумной камеры от φ1400 мм до Φ2000 мм;
2. Вакуумная система с роторно-лопастным насосом, насосом Рутса и масляным диффузионным насосом или молекулярным насосом;
3. Система покрытия использует 1-2 магнита промежуточной частоты для управления источником питания распыления, имеет 1-2 пары несбалансированных магнитов для управления мишенью и имеет 14-40 дуговых источников.
4. Высокоэффективный импульсный источник питания смещения;
5. В системе газификации используются отечественные или импортные массовые расходомеры газов, счетчики контроля расхода газа (демонстрационные);
6. Электрическая цепь установки электроуправляемой системы перегружена, отключается подача воды, выходит из строя акустооптический сигнализатор;
7. Система управления (сенсорный экран + ПЛК), детальное отображение параметров в режиме реального времени, полностью автоматический контроль всего производственного процесса и автоматическая память технологических параметров.
Оборудование для нанесения покрытий методом PVD — технические характеристики RTAC1618
МОДЕЛЬ | РТАК1618 | ||
МАТЕРИАЛ | Нержавеющая сталь (S304) | ||
РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1600*1800 мм (В) | ||
НАСОСНАЯ СИСТЕМА | Ротационно-поршневой вакуумный насос (механический) | ||
Ротационно-лопастной вакуумный насос (удержание) | |||
Вакуумный насос Рутса | |||
Диффузионный насос | |||
ТЕХНОЛОГИИ | Ионное покрытие (многодуговые источники) | ||
ТИПИЧНЫЕ ЦЕЛИ | Хром, Титан, Цирконий, TiAl | ||
ГАЗ | Расходомеры газа (Ar, N2,) Аргон, Азот | ||
КОНТРОЛЬ | ПЛК (программируемый логический контроллер) | ||
СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные защитные блокировки для защиты операторов и оборудования | ||
ОХЛАЖДЕНИЕ | Рециркуляция охлаждающей воды | ||
ОБОГРЕВ | Нагреватель, до 300℃ | ||
МОЩНОСТЬ МАКС. | 150 кВт (прибл.) | ||
СРЕДНЯЯ ПОТРЕБЛЯЕМАЯ ЭНЕРГИЯ | 70кВт (прибл.) |
Оборудование для керамического покрытия PVDиспользует технологию ионного покрытия для испарения твердых металлов, таких как титан, хром, с помощью источника катодной дуги и конденсации ионизированных металлов на поверхности продукта для создания тонкой нанопленки в среде высокого вакуума.С реактивным газом, таким как: Азот для получения различных цветов.
Другие индивидуальные размеры машин доступны в зависимости от указанных размеров продукта и потребности в мощности.
Модель | РТАК-1008 | РТАК-1012 | РТАК-1215 | РТАК-1416 | РТАК-1618 | ||||||
Внутренний размер камеры | 1000x800мм | 1000x1200мм | 1200x1500мм | 1400x1600мм | 1600x1600мм | ||||||
Тип источника питания | Источник питания дуги, источник питания накала, источник питания импульсного смещения | ||||||||||
Структура вакуумной камеры | Вертикальная конструкция передней двери, задняя система выпуска воздуха и двухслойная камера водяного охлаждения | ||||||||||
Материал вакуумной камеры | нержавеющая сталь 304/316L | ||||||||||
Предельный вакуум | 6,0x10-4Па (разгрузка, чистая, сушильная камера) | ||||||||||
Скорость вакуумной откачки | от атмосферы до 8,0*10-3Па ≤15 минут | ||||||||||
Вакуумная насосная система | Диффузионный насос или молекулярный насос + насос Рутса + механический насос + удерживающий насос (конкретная модель может быть выбрана в соответствии с требованиями заказчика) | ||||||||||
Источник дуги | 6 единиц или 8 единиц | 8 единиц или 10 единиц | 10 единиц или 12 единиц | 14 единиц или 16 единиц | 16 единиц или 18 единиц | ||||||
Источник питания смещения | 20кВт/комплект | 20кВт/комплект | 30кВт/комплект | 40кВт/комплект | 50кВт/комплект | ||||||
Модель вождения | Планетарное вращение и вращение, регулировка скорости с переменной частотой (управляемый и регулируемый) | ||||||||||
Система отопления | Контролируемый и регулируемый от комнатной температуры до 450°C (ПИД-регулятор температуры) | ||||||||||
МФЦ | 3-канальная или 4-канальная система управления и индикации расхода технологического газа, селективная автоматическая система подачи газа | ||||||||||
Система охлаждения | Режим охлаждения с циркуляцией воды, градирня или промышленный охладитель воды или система глубокого охлаждения.(Предоставлено клиентами) | ||||||||||
Режим управления | Ручной/автоматический режим интеграции, сенсорный экран, управление с помощью ПЛК или компьютера | ||||||||||
Суммарная мощность | 30кВт | 35кВт | 45кВт | 60кВт | 75кВт | ||||||
Сигнализация и защита | Предупредите о нехватке воды, перегрузке по току и перенапряжении, обрыве цепи и других ненормальных состояниях насосов, целей и т. д., а также выполните соответствующие защитные меры и функцию электрической блокировки. | ||||||||||
Зона оборудования | Ш2.5м*Д3.5м | Ш3м*Д4м | Ш4м*Д5м | Ш4.5м*Д6м | Ш5м*Д7м | ||||||
Другие технические параметры | Давление воды ≥0,2 МПа, температура воды ≤25°C, давление воздуха 0,5-0,8 МПа | ||||||||||
Примечания | Конкретная конфигурация оборудования для нанесения покрытий может быть разработана в соответствии с технологическими требованиями к продуктам для нанесения покрытий. |
Керамические напильники Образцы покрытия PVD
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.