Настройка для удовлетворения вашего особого спроса
Стандартизация для снижения производственных затрат
-- Мы больше ориентируемся на приложения
2-MultiTech- Черные пленочные покрытия DLC IPG.pdfпожалуйста, загрузите брошюру здесь для получения дополнительной информации
Что такое MF-распыление?
По сравнению с напылением постоянным током и ВЧ, среднечастотное напыление стало основным методом напыления тонких пленок для массового производства покрытий, особенно для пленочного осаждения диэлектрических и непроводящих пленочных покрытий на такие поверхности, как оптические покрытия, солнечные панели, многослойные покрытия. , пленка из композитного материала и т. д.
Он заменяет РЧ-распыление, поскольку он работает с частотой кГц, а не МГц, что обеспечивает гораздо более высокую скорость осаждения, а также позволяет избежать отравления мишени во время составного тонкопленочного осаждения, такого как DC.
Мишени для МФ-распыления всегда существовали в двух наборах.Используются два катода с переменным током, переключаемым туда и обратно между ними, который очищает поверхность мишени при каждом перевороте, чтобы уменьшить накопление заряда на диэлектриках, что приводит к искрению, которое может выбрасывать капли в плазму и предотвращать равномерный рост тонкой пленки --- это то, что мы назвали целевым отравлением.
Источники отложений
Источники управляемой дуги окружности для испарения твердой металлической мишени;
2/4/6 пар катодов для напыления в виде цилиндра MF для нанесения графитового тонкопленочного слоя;
Источник питания смещения для ионной бомбардировки для формирования плазменной зоны предварительной обработки;
Блок анодного линейного источника ионов (опционально) PACVD и PECVD обработка;
Крионасос (Polycold) для молекулярной конденсации воды (по желанию)
Другие модули
1. Вакуумная камера
2. Вакуумная насосная система для промывки (блок форвакуумного насоса)
3. Высоковакуумная насосная система (молекулярный насос с магнитной подвеской)
4. Электрическая система управления и эксплуатации
5. Система вспомогательных помещений (подсистема)
6. Система напыления: катод для распыления MF, источник питания MF, источник питания смещения Источник ионов для опционального
Производительность лакировочной машины
1. Предельное вакуумметрическое давление: лучше 5,0×10-6Торр.
2. Рабочее давление вакуума: 1,0×10-4Торр.
3. Время откачки: от 1 атм до 1,0×10-4Torr≤ 3 минуты (комнатная температура, сухая, чистая и пустая камера)
4. Металлизирующий материал (напыление + дуговое напыление): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC и др.
5. Операционная модель: полностью автоматический/полуавтоматический/ручной
| Описание | RT1000-DLC |
РТ1000-ИПГ |
RT1250-ЧЕРНЫЙ |
РТ1612-ЧЕРНЫЙ |
| Технические преимущества |
Плагин Интегрированная система для быстрой установки |
Более высокий объем |
||
| Основные приложения |
Черные DLC-покрытия на медицинских инструментах, ювелирных изделиях, деталях часов. |
Средние и большие заготовки: столовые приборы из нержавеющей стали, дверные ручки, сантехника, автомобильные компоненты, спорт, бытовая техника, кухонная утварь, спектральные рамки и т. д. | ||
| Камера для показаний |
φ1000 * В1000мм |
φ1250 * В1250мм |
φ1600 * В1250мм |
|
|
Диаметр нагрузки |
6*φ250мм |
8*φ270мм 10*φ230мм |
10*φ300мм 16*φ200мм |
|
| Высота загрузки (эффективно) |
650мм | 900мм | 900мм | |
| Катоды осаждения | 5 дуг + 4 пары цилиндров MF распыления |
Вариант A: 8 дуг + 1 комплект планарного напыления постоянным током; |
7 дуг + 3 (или 4) пары цилиндрических распылителей MF | 12 дуг + 4 (или 6) пар цилиндрических распылителей MF |
| Система эксплуатации и управления |
ПЛК Siemens + Промышленный компьютер + RoyalTech.Программа работы |
|||
Эти конфигурации являются стандартными, для конкретного развивающегося рынка и новых специальных покрытий, индивидуальные конфигурации и модификации доступны по запросу.
Программа установки вакуумной системы
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.
