| Камера | Вертикальная ориентация, 1 дверь |
|---|---|
| Материал | Нержавеющая сталь 316 |
| Технология вакуума | Покрытие PVD трудное, покрытие CrN, плакировка pvd, катодное испарение дуги |
| Источники отложений | Источники дуги |
| Покрывая фильмы | Плакировка Cr, CrN, CrC etc. металлопленочная, нитрид титана, карбид титана, нитрид циркония, нитрид |
