RT-CsI950 — это наше 3-е модернизированное поколение, основанное на моделях CsI950 и CsI950A+.
Оборудование предназначено исключительно для металлизации CsI на сцинтилляционных экранах в условиях сверхвысокого вакуума.Сцинтилляторы CsI толщиной 200～600 мкм обладают высокой однородностью толщины и яркости.
Заявление:для проверки безопасности и инспекции, обучения физике высоких энергий, обнаружения ядерного излучения и медицинских изображений: обследование грудной клетки, мамография, внутриротовое и панорамное стоматологическое обследование.
Применяемые субстраты:Стекло TFT, волоконно-оптическая пластина, пластина из аморфного углерода, алюминиевая пластина
Преимущества:
-- Компактный дизайн, более удобный для перемещения;
-- Больше энергосбережения для снижения себестоимости продукции;
-- Квалифицированные инженеры с более чем 20-летним техническим опытом работы с вакуумом для проектирования и сборки системы
Технические преимущества
1. Высокая эффективность
- Двойная емкость для макс.размер подложки: 500 х 400 мм.
2. Повторяемость и воспроизводимость
-Через высокоточную систему управления параметрами,
- Программное обеспечение и программа для автоматизированного управления технологическими процессами,
-Удобная работа.
3. Надежность
- круглосуточная работа в режиме нон-стоп;
- Контроллер толщины пленки Inficon для контроля толщины пленки на линии.
-Точность контроля температуры: ± 1 ℃, многоступенчатая настройка, автоматическая запись и контроль данных температуры
-Вращающиеся стойки оснащены серводвигателем для высокой точности и стабильности.
4. Безопасность
-Высоковакуумный насос: молекулярный насос с магнитной подвеской, с устройством для продувки газообразным азотом, чтобы избежать попадания опасных материалов в воздух;
-Все электроды снабжены защитными рукавами.
Технические характеристики
| Описание | РТ-CsI950 |
|
|
Камера осаждения (мм)
|
φ950 x В1350 | φ800 x В800 |
| Вместимость | 2 | 1 |
| Источники испарения | 2 | 4 |
| Сухость и влажность |
Йодо-вольфрамовая лампа Максимум.300 ℃ |
Йодо-вольфрамовая лампа Максимум.200 ℃ |
| Максимальное вакуумметрическое давление (Па) | 8,0×10-5Па | 5,0×10-4Па |
| Контроллер толщины пленки осаждения | Кварцевый контроль x 1 |
НИКТО
|
| Потребляемая мощность (кВт) |
Максимум.ок.50 Среднее ок.20 |
Максимум.ок.20 Среднее ок.10 |
| След (Д*Ш*В) | 3000*2150*2100мм | 1800*2300*2100мм |
|
Система эксплуатации и управления
|
стандарт СЕ Сенсорный экран Mitsubishi PLC+ Операционная программа с резервным копированием |
|
В дополнение к оборудованию RT-CsI950 мы также предоставляем машины для постобработки, которые создают защитный слой поверх пленки CsI.
-- RTEP800, использующий технологию покрытия термическим испарением.
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.
