Машина вакуумного напыления ПВД + ПЭКВД, оборудование структуры ПВД полиэдрона, множественные источники низложения
Свойства машины Мулти950:
Компактный след ноги,
Стандартное модульное проектирование,
Гибкий,
Надежный,
Восьмиштырьковая камера,
структура двери 2 для хорошего доступа,
Процессы ПВД + ПЭКВД.
Конструктивные особенности:
1. Гибкость: Дуга и катоды брызгать, монтажные фланцы источника иона унифицированы для гибкого обмена;
2. многосторонность: смогите депозировать разнообразие основных металлов и сплавов; оптически покрытия, трудные покрытия, мягкие покрытия, составные фильмы и твердые смазывая фильмы на металлических и неметаллических субстратах материалов.
3. прямодушный дизайн: структура двери 2, фронт & заднее отверстие для легкого обслуживания.
Машина Мулти950 подгонянная система вакуумного напыления функций многократной цепи для НИОКР. С обсуждением половинного года с командой университета Шанхая освинцованной профессором Чен, мы в конце концов подтвердили дизайн и конфигурации для того чтобы выполнить их применения НИОКР. Эта система может депозировать прозрачный фильм ДЛК с процессом ПЭКВД, трудные покрытия на инструментах, и оптически фильм с брызгать катод. Основанный на этой пилотной идее проекта машины, мы начинали 3 других системы покрытия после после этого:
1. Двухполярное покрытие плиты для кораблей ФКЭВ1213 отсека топливного бака электрических,
2. керамический направьте покрытую медь ДПК1215,
3. гибкая система РТСП1215 брызгать.
Машина этих 4 моделей все с восьмиштырьковой камерой, гибкий и надежные представления обширно использованы в различных применениях. Она удовлетворяет процессы покрытия требует мулти различных слоев металла: Ал, Кр, Ку, Ау, Аг, Ни, Сн, СС и много других нон-фероманьетик металлов;
плюс блок источника иона, эффективно увеличьте прилипание фильмов на различных материалах субстрата со своим представлением вытравливания плазмы и, процесс ПЭКВД для того чтобы депозировать некоторые основанные на углерод слои.
Мулти950 основной этап работ предварительных систем покрытия дизайна для королевского техника. Здесь, мы признательные студенты университета Шанхая спасибо и особенно отростчатое Иганг Чен, его творческое и бескорыстное посвящение неограниченные значения и воодушевили нашу команду.
В годе 2018, мы имели другое сотрудничество с прессорным Чен, проекта материальное низложение К-60 мимо
Индуктивный термальный метод испарения. Мы хэартфулли благодарим г-на Имоу Янг и профессора водить и инструкция Чен на каждом новаторском проекте.
Мулти950 - технические данные
| Описание | Мулти-950 |
|
Камера низложения (мм) Глубина кс Хайгх ширины кс |
1050 кс 950 кс 1350 |
|
Источники низложения |
1 пара МФ брызгая катоды |
| 1 пара ПЭКВД | |
| 8 катодов дуги наборов | |
| Линейный источник иона | 1 набор |
| Зона единообразия плазмы (мм) | φ650 кс Х750 |
| Кароузел | 6 кс φ300 |
|
Силы (КВ) |
Смещение: 1 кс 36 |
| МФ: 1 кс 36 | |
| ПЭКВД: 1 кс36 | |
| Дуга: 8 кс 5 | |
| Источник иона: 1 кс 5 | |
| Система управления газа | МФК: 4 + 1 |
| Система отопления | 500℃, с управлением ПИД термалькоупле |
| Запорная заслонка глубокого вакуума | 2 |
| Насос Турбомолекулар | 2 кс 2000Л/С |
| Насос корней | 1 кс 300Л/С |
| Роторный насос лопастей | ³ 1 кс 90 м/х + ³/х 1 кс 48 м |
| След ноги (Л кс В кс х) мм | 3000 * 4000 * 3200 |
| Полная сила (КВ) | 150 |
Команды обслуживания и инженерства королевского техника обеспечивают работу с клиентом на месте, свяжутся мы для ваших применений!
