Гибридная вакуумная машина для депонирования PVD и PECVD RT-Multi950

The интеграция технологий PVD и PECVD в гибридную машину для покрытия обеспечивает ряд преимуществ, которые могут привести к улучшению качества покрытия, универсальности, контролю, эффективности, экономии затрат,настраивание, и экологической устойчивости.

Multi950 - это веха в разработке современных систем покрытия для Royal Tech.Его творчество и самоотверженность являются неограниченными ценностями и вдохновили нашу команду..

В 2018 году у нас был еще один проект сотрудничества с Прессором Ченом, отложение материала С-60
Мы сердечно благодарим г-на Иму Яна и профессора Чэна за руководство и инструкции по каждому инновационному проекту.

Свойства машины Multi950:

компактный след,
Стандартный модульный дизайн,
Гибкий,
Надежная,
Октальная камера,
2-дверная конструкция для легкого доступа,
Процессы PVD + PECVD.

Конструкционные характеристики:

1Гибкость: дуговые и распыляющие катоды, ионные источники монтажных фланцев стандартизированы для гибкого обмена;
2- универсальность: способность откладывать различные обыкновенные металлы и сплавы; оптические покрытия, твердые покрытия, мягкие покрытия;сложные пленки и твердые смазочные пленки на металлических и неметаллических материалах.
3Простая конструкция: структура с двумя дверями, передний и задний отверстия для легкого обслуживания.

Машина Multi950 представляет собой индивидуальную многофункциональную систему вакуумного осаждения для НИОКР.Мы, наконец, подтвердили дизайн и конфигурации для выполнения их R & D приложенийЭта система способна откладывать прозрачную DLC пленку с процессом PECVD, твердые покрытия на инструментах и оптическую пленку с распыляющим катодом.Мы разработали 3 других системы покрытия после этого:
1. Биполярное покрытие пластин для электромобилей на топливных элементах- FCEV1213,
2Керамическая прямая покрытая медь- DPC1215,
3Гибкая система распыливания - RTSP1215.
Все эти 4 модели машины имеют октальную камеру, гибкую и надежную производительность, широко используются в различных приложениях.Это удовлетворить процессы покрытия требуют много различных металлических слоев: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS и многие другие нефермагнитные металлы;
плюс блок источника ионов, эффективно повышают адгезию пленок на различные материалы подложки с его плазменными производительностью нарезки и процессом PECVD для отложения некоторых слоев на основе углерода.

Multi950 - Технические характеристики

Служба и инженерные команды Royal Tech оказывают поддержку клиентам на месте, свяжитесь с нами для ваших заявок!