|
| Наименование марки: | ROYAL |
| Номер модели: | Мулти950 |
| MOQ: | 1 комплект |
| цена: | depends on |
| Условия оплаты: | L/C,T/T |
| Способность к поставкам: | 10 комплектов в месяц |
The интеграция технологий PVD и PECVD в гибридную машину для покрытия обеспечивает ряд преимуществ, которые могут привести к улучшению качества покрытия, универсальности, контролю, эффективности, экономии затрат,настраивание, и экологической устойчивости.
Multi950 - это веха в разработке современных систем покрытия для Royal Tech.Его творчество и самоотверженность являются неограниченными ценностями и вдохновили нашу команду..
В 2018 году у нас был еще один проект сотрудничества с Прессором Ченом, отложение материала С-60
Мы сердечно благодарим г-на Иму Яна и профессора Чэна за руководство и инструкции по каждому инновационному проекту.
Свойства машины Multi950:
компактный след,
Стандартный модульный дизайн,
Гибкий,
Надежная,
Октальная камера,
2-дверная конструкция для легкого доступа,
Процессы PVD + PECVD.
Конструкционные характеристики:
1Гибкость: дуговые и распыляющие катоды, ионные источники монтажных фланцев стандартизированы для гибкого обмена;
2- универсальность: способность откладывать различные обыкновенные металлы и сплавы; оптические покрытия, твердые покрытия, мягкие покрытия;сложные пленки и твердые смазочные пленки на металлических и неметаллических материалах.
3Простая конструкция: структура с двумя дверями, передний и задний отверстия для легкого обслуживания.
Машина Multi950 представляет собой индивидуальную многофункциональную систему вакуумного осаждения для НИОКР.Мы, наконец, подтвердили дизайн и конфигурации для выполнения их R & D приложенийЭта система способна откладывать прозрачную DLC пленку с процессом PECVD, твердые покрытия на инструментах и оптическую пленку с распыляющим катодом.Мы разработали 3 других системы покрытия после этого:
1. Биполярное покрытие пластин для электромобилей на топливных элементах- FCEV1213,
2Керамическая прямая покрытая медь- DPC1215,
3Гибкая система распыливания - RTSP1215.
Все эти 4 модели машины имеют октальную камеру, гибкую и надежную производительность, широко используются в различных приложениях.Это удовлетворить процессы покрытия требуют много различных металлических слоев: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS и многие другие нефермагнитные металлы;
плюс блок источника ионов, эффективно повышают адгезию пленок на различные материалы подложки с его плазменными производительностью нарезки и процессом PECVD для отложения некоторых слоев на основе углерода.
Multi950 - Технические характеристики
| Описание | Мульти-950 |
|
Камера отложения (мм) Ширина х глубина х высота |
1050 х 950 х 1350 |
|
Источники отложения |
1 пара MF распыляющих катодов |
| 1 пара PECVD | |
| 8 комплектов дуговых катодов | |
| Линейный ионный источник | 1 комплект |
| Зона однородности плазмы (мм) | φ650 x H750 |
| Карусель | 6 x φ300 |
|
Мощности (кВт) |
Уклонение: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x 36 | |
| Арка: 8х5 | |
| Ионный источник: 1 x 5 | |
| Система управления газом | МФК: 4 + 1 |
| Система отопления | 500°C, с управлением PID тепловой парой |
| Высоковакуумный клапан | 2 |
| Турбомолекулярный насос | 2 x 2000 л/с |
| Корневой насос | 1 x 300 л/с |
| Насос для вращающихся ванов | 1 x 90 м3/ч + 1 x 48 м3/ч |
| Отпечаток (L x W x H) мм | 3000 * 4000 * 3200 |
| Общая мощность (кВт) | 150 |
Служба и инженерные команды Royal Tech оказывают поддержку клиентам на месте, свяжитесь с нами для ваших заявок!
