Магнитное распыление широко используется для отложения огнеупорных металлов, таких как тантал, титан, вольфрам,Ниобий, который требует очень высоких температур осаждения, и драгоценные металлы: золото и серебро, которые также используются для отложения металлов с низкой температурой плавления, таких как медь, алюминий, никель, хром и т. д.
Тантал чаще всего используется в электроннойпромышленностькак защитное покрытие из-за его хорошей устойчивости к эрозии.
Применение тонкой пленки с распыляемым танталом:
1- микроэлектронная промышленность, поскольку пленки могут быть реактивно распылены и, таким образом, сопротивляемость и температурный коэффициент сопротивления могут контролироваться;
Технические преимущества
Стандартная система отложения танталом Royal Technology:
| Основные конфигурации | |
| Модель | RT1000-Ta |
| Технологии |
Импульсное распыление магнитронов постоянного тока Катодное дуговое покрытие (по желанию, определяемое методом покрытия) |
| Материалы для камер | Нержавеющая сталь (S304) |
| Размер камеры | Φ1000*1000 мм (H) |
| Тип камеры | Форма D, цилиндрическая камера |
| Система ротационного стойки и подъемника | Спутниковое управление или центральная система управления |
| ПРЕДСТАВЛЕНИЯ |
Электрическое питание для распыливания постоянного тока: 2 ~ 4 комплекта Ионный источник: 1 комплект |
| Материал для депонирования | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu и т.д. |
| Источник сдачи | Планарные споттерные катоды + циркулярные дуговые катоды |
| Контроль | PLC ((Программируемый логический контроллер) + IPC (модели ручной + автоматической + полуавтоматической работы) |
| Система насоса | Ротационный насос: SV300B 1 комплект (Leybold) |
| Корневой насос: WAU1001 1 комплект (Leybold) | |
| Стойкостный насос: D60C 1 комплект (Leybold) | |
| Магнитный молекулярный насос подвески: MAG2200 2 сест (Лейбольд) |
|
| Контроллер потока массы газа | 2 канала: Ar и N2 |
| Вакуумный измеритель | Inficon или Leybold |
| Система безопасности | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и экипировки |
| Отопление | Нагреватели: 20 кВт. Максимальная температура: 450°С |
| СОХЛЕДЕНИЕ | Промышленный холодильник (холодная вода) |
| ПОУэр Макс. | 100 КВт (приблизительно) |
| Среднее потребление электроэнергии | 45 КВт (приблизительно) |
| Вес брутто | T (приблизительно) |
| Отпечаток стопы | (L*W*H) 4000*4000*3600 мм |
| Электрическая энергия |
Линия переменного тока 380В/3 фаз/50Гц / 5 |
Внутренний участок:
Время строительства: 2018 год
Местонахождение: Китай
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных приложений и спецификаций.
