Тантал PVD брызгая лакировочная машина, фильмы тантала депозированные магнетроном брызгая, плакировкой DC тантала PVD
Тантал наиболее широко использован в электронной промышленности и как защитное покрытие в много индустрий из-за своего хорошего сопротивления к размыванию.
Брызганные фильмы тантала широко использованы в
1. индустрию микроэлектроники по мере того как фильмы можно реактивно брызгать и таким образом коэффициент резистивности и температуры сопротивления можно контролировать;
2. Медицинские инструменты как тело имплантируют для своего сильно свойства biocompatability;
3. покрытия на коррозионностойких частях, как thermowells, тела клапана, и крепежные детали;
Брызганный тантал может быть также быть использованным как эффективный defectected барьер коррозионной устойчивости если покрытие непрерывно, то, и адэрентн к субстрату запланирован защитить.
Технические преимущества RTAS1000
1. Вставляемая интегрированная система дизайна для быстрой установки
2. PLC Сименс, C.P.U.; с промышленным оборудованием деятельности & управления ПК
3. Доступный для дистанционного контроля и диагноза.
4. гибкий, подготавливайте для модернизировать
5. Множественные катоды для быстрой скорости низложения
Больше извлекает пользу из машины:
Крепкий дизайн, стабилизированное качество, быстрый цикл, быстрое время цикла, высокая скорость низложения
| Основные конфигурации | |
| МОДЕЛЬ | RTAS1000 |
| ТЕХНОЛОГИЯ | Магнетрон DC брызгая + катодная плакировка дуги |
| МАТЕРИАЛ КАМЕРЫ | Нержавеющая сталь (S304) |
| РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1000*1000mm (h) |
| ТИП КАМЕРЫ | Форма d, цилиндрическая камера |
| ШКАФ ВРАЩЕНИЯ & СИСТЕМА ДЖИГА | Спутниковый управлять или центральная вынуждающая система |
| ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ | DC брызгая электропитание: 2~4 набора склоняют электропитание: 1 установленное электропитание дуги: 11 набор |
| МАТЕРИАЛ НИЗЛОЖЕНИЯ | Ti/Cr/TiAl, животики, Au, Ag, Cu etc. |
| ИСТОЧНИК НИЗЛОЖЕНИЯ |
Плоскостные катоды брызгать + катоды дуги круга Примечание: cylinderial DC брызгает доступен |
| КОНТРОЛЬ | PLC (Programmable регулятор логики) + экран касания (модели деятельности manual+ auto+ полу-автоматические) |
| НАСОСНАЯ СИСТЕМА | Роторный насос лопасти: SV300B - 1 набор (Leybold) |
| Корни нагнетают: WAU1001 - 1 набор (Leybold) | |
| Удержание насоса: D60C - 1 набор (Leybold) | |
| Насос магнитного подвеса молекулярный: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| РЕГУЛЯТОР ПОТОКА ГАЗА МАССОВЫЙ | 4 канала, сделанного в Китае, модель 7 звезд (серии CS,) цифровая (Ar, N2, O2ий, C2H2) |
| ДАТЧИК ВАКУУМА | Модель: ZDF-X-LE, сделанное в Китае |
| СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и equipmen |
| ТОПЛЕНИЕ | Подогреватели: 20KW. Максимальный temp.: 450℃ |
| ОХЛАЖДАТЬ | Промышленный охладитель (холодная вода) |
| СИЛА МАКСИМАЛЬНАЯ. | 100KW (приблизительно) |
| ПОТРЕБЛЕНИЕ СРЕДНЕЙ МОЩНОСТИ | 45 KW (приблизительно) |
| ВЕС БРУТТО | T (приблизительно) |
| ПЕЧАТЬ НОГИ | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
| СИЛА ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ | Линия phases/50HZ/5 AC 380V/3 |
Цилиндрические катоды брызгать Плоскостные катоды брызгать
Пожалуйста свяжитесь мы для больше спецификаций, королевская технология удостаивает для того чтобы обеспечить вам полные покрывая решения.
Загрузите брошюру, пожалуйста нажмите здесь: Магнетрон брызгая низложение System.pdf
Магнетрон брызгая applicatio системы низложения…
