October 11, 2022
Модель машины: RT1200-FCEV
Технология: с магнетронным распылением PECVD + PVD Нанесение: Si, Cr, углеродные мишени для создания несбалансированного замкнутого магнитного поля для высокой плотности, высокой однородности и отличной коррозионной стойкости пленки осаждения.
Время постройки: 2016 г.
Местонахождение: Шанхай, Китай
Установка и тестирование: 3 дня
Ввод в эксплуатацию и обучение: 7 дней
ЭтотRT1200-FCEVВысоковакуумная система магнетронного напыления представляет собой индивидуальную модель, которая относится к модели Multi950-R&D, которую мы построили для Шанхайского университета.
Он разработан с камерой Octal, гибкие и надежные характеристики широко используются в различных приложениях.Он удовлетворяет процессам нанесения покрытия, требующим нескольких различных металлических слоев: Ta, Cr, Si, графит, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS и многие другие неферромагнитные металлы;плюс блок источника ионов, эффективно улучшающий адгезию пленок к различным материалам подложки благодаря своим характеристикам плазменного травления и процессу PECVD для осаждения некоторых слоев на основе углерода.
Структура оборудования: Вертикальная ориентация, восьмиугольная конструкция, 2 двери (спереди и сзади) для легкого доступа.
Характеристики оборудования:
Экологически чистая система, без вредных отходов.
Полная интеграция, модульная конструкция
Коммерциализировано и стандартизировано для промышленного массового производства
Чрезвычайно эффективный источник ионов для сильной адгезии и высокой ионизации.
Простота в эксплуатации: сенсорный экран + управление ПЛК, управление одним касанием
Программное обеспечение Royal Tech позволяет программировать, сохранять и воспроизводить параметры процесса.
Специальная конструкция карусельной системы для обеспечения высокой однородности осаждения.
Высокая производительность и стабильность, работа 24/7 в неделю.
Гибкий, подходит для пластин различных размеров, для покрытия с одной или двух сторон.
Свяжитесь с нами, пожалуйста, для получения дополнительной информации.
