В динамичном мире материаловедения, оптики и поверхностной инженерии наличие универсального и надежного лабораторного оборудования является не просто преимуществом, а необходимостью. Для исследовательских групп, изучающих современные покрытия — от сверхтвердых DLC-пленок до оптических слоев с высокой отражающей способностью — задача часто заключается в поиске единой системы нанесения покрытий, которая обеспечивала бы гибкость и точность. Представляем Royal RTAC950-SP, современную многофункциональную вакуумную машину для нанесения покрытий, разработанную специально для исследований и разработок, которая объединяет катоды для распыления средней частоты и постоянного тока и линейный источник ионов, открывающие беспрецедентные экспериментальные возможности.
Почему стоит выбрать модульную многопроцессную систему для своей лаборатории?
Традиционные однопроцессные установки для нанесения покрытий могут ограничивать инновации, вынуждая исследователей адаптировать свои проекты к возможностям оборудования, а не наоборот. Royal RTAC950-SP разрушает эти ограничения благодаря своей модульной архитектуре «подключи и работай». Его стандартизированные монтажные фланцы позволяют быстро и легко заменять катоды магнетронного распыления Gencoa, источники дугового испарения и блоки линейных источников ионов. Это означает, что ваша лаборатория может легко переключаться между твердыми покрытиями PVD, процессами PECVD, DLC/алмазоподобными углеродными пленками и напыленными оптическими покрытиями без инвестиций в несколько специализированных машин. Это идеальный инструмент для сравнительных исследований и разработки многослойных или композитных пленок нового поколения.
Разработано для производительности и простоты
По своей сути RTAC950-SP создан для получения надежных и воспроизводимых результатов в жестких условиях исследования.
- Превосходная вакуумная основа: достигая базового давления ≤ 3,0*10⁻² Па и предельного вакуума выше 8,0*10⁻⁴ Па, система обеспечивает чистую, свободную от загрязнений среду, необходимую для роста пленки высокой чистоты. Быстрый цикл откачки (от 15 минут до 1,0*10⁻³ Па) максимально увеличивает продуктивность лабораторного времени.
- Прецизионное управление процессом: оснащенное системой автоматизации ПЛК + сенсорный экран (с использованием ПЛК Mitsubishi и компонентов Schneider/Omron), установка для нанесения покрытий предлагает полностью автоматический, полуавтоматический и ручной режимы работы. Его система управления рецептами автоматически регистрирует все критические параметры — целевой ток/напряжение, массовый расход, давление, температуру и время нанесения покрытия — для детального анализа и идеального воспроизведения процесса.
- Надежные возможности осаждения: независимо от того, распыляете ли вы мишени из ITO, Ti, Cr, Al или сплавов, таких как TiAl, или используете дуговые катоды для плотных металлических пленок, система обеспечивает стабильное, контролируемое осаждение. Интегрированный линейный источник ионов меняет правила игры, обеспечивая ионно-активированное осаждение (IAD) для получения более плотных и прочных покрытий и облегчая усовершенствованные процессы PA PVD и PECVD.
- Ориентированная на пользователя конструкция: конструкция камеры с двумя дверцами (передней и задней), изготовленная из нержавеющей стали SUS304, обеспечивает исключительный доступ для загрузки образцов, замены приспособлений и обслуживания. Комплексные системы защитной блокировки защищают как оператора, так и оборудование.
Основные характеристики с первого взгляда
- Внутренние размеры камеры: Ø950 мм (Д) x 1350 мм (В)
- Нагрев: Нагрев образца до 500°C.
- Источники питания: встроенные источники питания для распыления MF/DC, дуги постоянного тока и смещения.
- Мониторинг: полнодиапазонные вакуумметры, термопары и 4-канальные MFC для точного контроля газа.
- Площадь основания: примерно 4400 x 3200 x 2950 мм, предназначен для эффективного использования лабораторного пространства.
Широкие возможности применения передовых исследований
RTAC950-SP — идеальная лабораторная система для нанесения тонких пленок для широкого спектра применений:
- Функциональные и защитные покрытия: Разработка износостойких и коррозионностойких твердых покрытий для инструментов и компонентов. Создайте твердую смазку или декоративные покрытия таких цветов, как черный, розовое золото или синий.
- Оптические и полупроводниковые пленки: нанесите прозрачные оптические пленки с высокой отражающей способностью, антибликовые или проводящие прозрачные оптические пленки.
- Усовершенствованные углеродные пленки: исследование и оптимизация свойств DLC и алмазоподобных углеродных пленок для биомедицинских, автомобильных или трибологических применений.
- Фундаментальные исследования и разработки: гибкость делает его идеальным для создания прототипов новых архитектур покрытий, изучения механизмов роста пленок и тестирования новых комбинаций материалов.
Королевское преимущество: больше, чем просто машина
Выбор Royal означает партнерство со специализированным поставщиком решений. Мы предлагаем:
- Комплексная поддержка: от эксплуатации и обслуживания машины до углубленного обучения рецептам и программированию процесса нанесения покрытия.
- Глобальная сеть обслуживания: с центрами поддержки в Европе (Польша), на Ближнем Востоке (Иран, Турция), Индии и Южной Америке (Мексика).
- Гарантия и настройка: предоставляется бесплатная ограниченная гарантия сроком на 1 год и пожизненная гарантия на машину. Мы также предоставляем услуги OEM и ODM для индивидуальных решений.
- Доставка по всему миру: упакована в соответствии с экспортными стандартами для безопасной перевозки морским или воздушным транспортом на дальние расстояния.
Расширьте возможности своих исследований сегодня
Не позволяйте ограничениям оборудования определять объем вашего исследования. Многофункциональная система нанесения покрытий Royal RTAC950-SP — это больше, чем просто лабораторная установка для нанесения покрытий методом напыления — это масштабируемая исследовательская платформа, предназначенная для развития вместе с вашими проектами.
Готовы изменить свои возможности исследования тонких пленок? Свяжитесь с Royal Technology сейчас, чтобы обсудить ваши конкретные потребности, запросить подробное предложение и узнать, как наши комплексные решения для нанесения покрытий могут ускорить ваш путь к открытиям. Давайте вместе построим будущее поверхностной инженерии.