Баланс/нарушил равновесие закрытая магнитная, который хранят система покрытия брызгать, направляет вакуум покрытой меди брызгая завод
Эсиньед Мангетрон брызгая Коатер РТСП1215 для меди, алумунюм, пластмассы, плакировки слоя фильма монтажной платы металла проводной. Она может сконденсировать Нано тонкий фильм на субстратах. За исключением Аг брызгая, она может также депозировать Ни, Ау, Аг, Ал, Кр, СС316Л.
Машина РТСП1215 установлена с 2 парами МФ брызгая катоды на камеру, перед низложением фильма ПВД и 1 набором источника иона слоя анода для чистки бомбардировкой плазмы.
Источник иона первоначален от компании Генкоа, свойств:
1. Оптимизированные магнитные поля для произведения коллимированного луча плазмы на стандартных давлениях брызгать
2. Автоматизированная регулировка для газа для поддержания постоянн течения & напряжения тока – управления автомобиля мульти-газа
3. Анод и катод графита для защиты субстрата от загрязнения и для того чтобы обеспечить компоненты длинной жизни
4. Электрическая изоляция РФ стандартная на всех источниках иона
5. Косвенный охлаждать анода и катода – быстрого переключения частей
6. Легкое переключение частей катода для того чтобы обеспечить множественные магнитные ловушки для деятельности более низкого напряжения тока, или сфокусированный луч
7. Напряжение тока отрегулировало электропитание с обратной связью регулировки газа для того чтобы поддерживать такое же течение во все времена
РТСП1215 брызгая применения оборудования для нанесения покрытия:
1. Доступный на субстратах: Листы пластмассы, полимера, стеклянных и керамических, нержавеющая сталь, листовая медь, алюминиевая доска етк.
2. Произвести Нано фильм полюбите: Олово, ТиК, ТиКН, Кр, КрК, КрН, Ку, Аг, Ау, Ни, Ал етк.
РТСП1215 брызгая конструктивные особенности оборудования для нанесения покрытия:
1. Крепкий дизайн, хороший для ограниченного космоса комнаты
2. Легкий доступ для обслуживания и ремонта
3. Быстрая насосная система для высокого выхода
4. Приложение КЭ стандартное электрическое, стандарт УЛ также доступно.
5. Точный воркманьшип изготовления
6. Стабилизированный ход для того чтобы гарантировать высококачественную продукцию фильма.
Главная особенность эти королевские подгонянные деятельность и программа управления и программное обеспечение, которое имеет в распоряжении соотвествовать различным запросам от покупательских спросов. Система управления ПЛК + экран касания:
Дистанционный контроль ПЛК и контроль (локальная сеть)
1) Программа взгляда команды дистанционного управления
2) Резервная копия программы ПЛК + программа ХМИ резервная копия
3) Оперативная среда ПК
Система: Окно 2000/Виндов СП/Виндов 7
Пиксел дисплея: 1920*1080
Конфигурации
| МОДЕЛЬ | РТСП1215 |
| МАТЕРИАЛ | Нержавеющая сталь (С304) |
| РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1200*1500мм (х) |
| ТИП КАМЕРЫ | структура 1-доор, вертикальная |
| ОДИНОЧНЫЙ ПАКЕТ НАСОСА | Роторный насос ВанеВакуум |
| Вакуумный насос корней | |
| Насос магнитного подвеса молекулярный | |
| Двухступенный роторный вакуумный насос лопасти | |
| ТЕХНОЛОГИЯ | Магнетрон брызгая, линейный источник МФ иона |
| ЭЛЕКТРОПИТАНИЕ | Брызгающ электропитание + косые электропитание + источник иона |
| ИСТОЧНИК НИЗЛОЖЕНИЯ | 2 пары МФ брызгая катоды + источник иона |
| КОНТРОЛЬ | Экран ПЛК+Тоуч |
| ГАЗ | Газ массовые измерители прокачки (Ар, Н2, К2Х2, О2ий) аргон, азот и Этхыне, кислород |
| СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и оборудования |
| ОХЛАЖДАТЬ | Охлажденная вода |
| ОЧИЩАТЬ | Источник газосветных/иона |
| СИЛА МАКС. | 120КВ |
| ПОТРЕБЛЕНИЕ СРЕДНЕЙ МОЩНОСТИ | 70КВ |
Пожалуйста свяжитесь мы для больше спецификаций, королевская технология удостаивает для того чтобы обеспечить вам полные решения покрытия.
