Тантал PVD брызгая лакировочная машина, фильмы тантала депозированные магнетроном брызгая, плакировкой DC тантала PVD
Тантал наиболее широко использован в электронной промышленности и как защитное покрытие в много индустрий из-за своего хорошего сопротивления к размыванию.
Брызганные фильмы тантала широко использованы в
1. индустрию микроэлектроники по мере того как фильмы можно реактивно брызгать и таким образом коэффициент резистивности и температуры сопротивления можно контролировать;
2. Медицинские инструменты как тело имплантируют для своего сильно свойства biocompatability;
3. покрытия на коррозионностойких частях, как thermowells, тела клапана, и крепежные детали;
Брызганный тантал может быть также быть использованным как эффективный defectected барьер коррозионной устойчивости если покрытие непрерывно, то, и адэрентн к субстрату запланирован защитить.
Технические преимущества RTAS1000
1. Вставляемая интегрированная система дизайна для быстрой установки
2. PLC Сименс, C.P.U.; с промышленным оборудованием деятельности & управления ПК
3. Доступный для дистанционного контроля и диагноза.
4. гибкий, подготавливайте для модернизировать
5. Множественные катоды для быстрой скорости низложения
Больше извлекает пользу из машины:
Крепкий дизайн, стабилизированное качество, быстрый цикл, быстрое время цикла, высокая скорость низложения
Основные конфигурации | |
МОДЕЛЬ | RTAS1000 |
ТЕХНОЛОГИЯ | Магнетрон DC брызгая + катодная плакировка дуги |
МАТЕРИАЛ КАМЕРЫ | Нержавеющая сталь (S304) |
РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1000*1000mm (h) |
ТИП КАМЕРЫ | Форма d, цилиндрическая камера |
ШКАФ ВРАЩЕНИЯ & СИСТЕМА ДЖИГА | Спутниковый управлять или центральная вынуждающая система |
ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ | DC брызгая электропитание: 2~4 набора склоняют электропитание: 1 установленное электропитание дуги: 11 набор |
МАТЕРИАЛ НИЗЛОЖЕНИЯ | Ti/Cr/TiAl, животики, Au, Ag, Cu etc. |
ИСТОЧНИК НИЗЛОЖЕНИЯ |
Плоскостные катоды брызгать + катоды дуги круга Примечание: cylinderial DC брызгает доступен |
КОНТРОЛЬ | PLC (Programmable регулятор логики) + экран касания (модели деятельности manual+ auto+ полу-автоматические) |
НАСОСНАЯ СИСТЕМА | Роторный насос лопасти: SV300B - 1 набор (Leybold) |
Корни нагнетают: WAU1001 - 1 набор (Leybold) | |
Удержание насоса: D60C - 1 набор (Leybold) | |
Насос магнитного подвеса молекулярный: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
РЕГУЛЯТОР ПОТОКА ГАЗА МАССОВЫЙ | 4 канала, сделанного в Китае, модель 7 звезд (серии CS,) цифровая (Ar, N2, O2ий, C2H2) |
ДАТЧИК ВАКУУМА | Модель: ZDF-X-LE, сделанное в Китае |
СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и equipmen |
ТОПЛЕНИЕ | Подогреватели: 20KW. Максимальный temp.: 450℃ |
ОХЛАЖДАТЬ | Промышленный охладитель (холодная вода) |
СИЛА МАКСИМАЛЬНАЯ. | 100KW (приблизительно) |
ПОТРЕБЛЕНИЕ СРЕДНЕЙ МОЩНОСТИ | 45 KW (приблизительно) |
ВЕС БРУТТО | T (приблизительно) |
ПЕЧАТЬ НОГИ | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
СИЛА ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ | Линия phases/50HZ/5 AC 380V/3 |
Цилиндрические катоды брызгать Плоскостные катоды брызгать
Пожалуйста свяжитесь мы для больше спецификаций, королевская технология удостаивает для того чтобы обеспечить вам полные покрывая решения.
Загрузите брошюру, пожалуйста нажмите здесь: Магнетрон брызгая низложение System.pdf
Магнетрон брызгая applicatio системы низложения…