Машины для покрытия пленкой с низким уровнем E / вакуумной пленкой для покрытия пленкой с низким уровнем E
Мы рады предложить наш MultiWeb-Series Roll to Roll Vacuum Sputtering Web Coater для удовлетворения ваших требований к многослойным отложениям.
Общие спецификации | |||||||
Тело вакуумной камеры: однокамерные зоны многодавления | |||||||
Подвижные вагоны: Веб-коляска | |||||||
Зона депонирования: 2 X Зона распыливания (необязательно: 3 Зона распыливания) | |||||||
Источник распыливания: 2 X источник распылителя с двумя катодами (необязательно: 3 источника распылителя с двумя катодами) | |||||||
Предварительная обработка субстрата: линейный ионный источник | |||||||
Ширина сетки: 1300 мм | |||||||
Диаметр обмотки: Φ600 мм максимум | |||||||
Направление обмотки: двунаправленное | |||||||
Толщина подложки: 15~300μm | |||||||
Скорость веб-линии:00,5-10,0 М/мин | |||||||
Напряжение сети: 5,0PLI Max 0,5PLI Min | |||||||
Выравнивание сетки: ±3 мм (один проход) | |||||||
Высоковакуумный насос: турбонасос | |||||||
Вакуумный насос: сухой насос и комбинация вентилятора | |||||||
Насос влаги: полихолодный криогенный | |||||||
Контроль толщины осаждения: мониторинг (необязательно) | |||||||
a: оптическая передача; b: сопротивление вихревого тока | |||||||
Работа системы: работа компьютерной системы на базе ПЛК |
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных сведений, Royal Technology с честью предоставит вам полные решения по покрытию.