Золото, серебро и медь Керамическая ПВД-машина для распыления,

Оборудование для осаждения золотом, машина для осаждения PVD серебра и золота, система для осаждения PVD с проводящей пленкой 

Резюме:Процесс DPC - прямое покрытие меди - это передовая технология покрытия, применяемая в светодиодной / полупроводниковой / электронной промышленности.Осаждение проводчивой пленки на оксиде алюминия (Al2O3), AlN субстраты с использованием технологии вакуумного распыливания PVD, по сравнению с традиционным производством

методы: DBC LTCC HTCC, значительно более низкая стоимость производства является его высокой особенностью.

Королевская технологическая команда помогла нашему клиенту успешно разработать процесс DPC с помощью технологии ПВД.

Ключевые слова:Керамические уплотнительные части, процесс DPC, система распыливания меди PVD, светодиодные керамические чипы с купером, Al₂О₃, AlN керамические платы, Al2O3 пластины на светодиоде, полупроводники

ПрименениеДПК:

· HBLED

· Субстраты для солнечных концентраторных элементов

· Оборудование полупроводников мощности, включая управление двигателями автомобилей

· Гибридная и электрическая электротехника управления энергопотреблением автомобилей

· Пакеты для RF

· Микроволновые устройства

Производительность технологии DPC

Различные материалы подложки: керамика (Al3O2, AlN), стекло и Si

• Гораздо более низкие издержки производства.
• Высокие характеристики управления тепловой энергией и передачи тепла
• Точное выравнивание и дизайн шаблона
• Прочная металлизация сцепления

Особенности:

• Высокая пропускная способность до 2,2 м2 керамической подложки в цикле;
• Сильное сцепление с мощным нагревательным устройством и очисткой плазменного источника;
• Компактный дизайн и с легким доступом для модернизации и обслуживания.
• Полностью автоматизированная, ПЛК + сенсорный экран, система управления одним касанием.
• Высокая эффективность при меньшем расходе энергии, экономия производственных затрат максимум на 50%.

Технические спецификации

• Производительность

1. Предельное вакуумное давление: лучше 9,0*10^-5Отец.

• Базовое вакуумное давление: 3,0*10^-2Папа.

3Время откачки: от АТМ до 1,0×10^-3Pa≤15 минут (комнатная температура, сухая, чистая и пустая камера)

4Источник осаждения: Генкоа магниторонные распыляющие катоды, управляемые дуговые катоды, ионный источник

5Модель работы: полностью автоматически / полуавтоматически / вручную

6. нагрев: от комнатной температуры до 500°C,

9Ионный источник для процесса PECVD и PA PVD.

• Структура

Машина для вакуумного покрытия содержит ключевую комплектующую систему, перечисленную ниже:

1Вакуумная камера.

1.1 Размер: внутренний диаметр: 1200 мм

Внутренняя высота: 1500 мм

1.2 Материал: вакуумная камера SUS304

Двери и фланцы SUS304

Структура укрепления камеры: мягкая сталь SS41, с окрашенной отделкой поверхности.

Камера шасси SS41 мягкой стали с окрашенной отделкой поверхности.

1.3 Защитная камера: SUS304

1.4 Вид окна: 2 на двери

1.5 Вентилятор вакуумной камеры (включая глушитель)

1.6 Дверь: материал SUS304

2Ру.гингВакуумная насосная система:

Нефтяной вакуумный насос с вращающимися лопастями + удерживающий насос
 

3Высокая вакуумная насосная система: Магнитно подвесный молекулярный насос - 2 комплекта

4Электрическая система управления и работы - ПЛК + система работы с сенсорным экраном:

Поставщики:

PLC: Mitsubishi + сенсорный экран (сделано в Китае)

Электронные компоненты: Шнайдер, Омрон.

Система защиты безопасности:Многочисленные защитные блокировки для защиты операторов и оборудования (вода, газ, температура и т.д.)

Система процессов покрытия: Автоматизация и управление процессами.

4.1 Основная схема: выключатель без предохранителя, электромагнитный выключатель, C/T в серийном типе

4.2 Источник питания: мощность распыливания постоянного тока/MF + мощность дуги постоянного тока + источник питания с уклоном.

4.3 Система контроля отложения

4.4 Операционная система: сенсорный экран + ПЛК, управление рецептами и регистрация данных, автоматическое отключение, автоматическая эвакуация, автоматическое покрытие

4.5 Измерительная система

Вакуумное давление: Вакуумный габарит: Пирани + Пеннингский габарит + Вакуумный габарит полного диапазона -- марка Europe

Устройство для измерения температуры: термопары
MFC: Контроллер массового потока (четыре пути),

4.6 Система сигнализации: давление сжатого воздуха, поток охлаждающей воды, неправильная работа

4.7 Показатель мощной нагрузки: показатель напряжения и показатель нагрузки

5. Система отложения

5.1 Источник осаждения: Катоды распыливания + источники дуги + источник ионов

5.2 Материал осаждения: медь, алюминий, хром, серебро, золото, СС, титан и т.д.
 

6.Подсистема

6.1 Система управления клапаном сжатого воздуха

6.2 Система охлаждающей воды:Водопровод и система переключателя клапана

7. Рабочая среда

Сжатый воздух: 5~8 кг/см2

Вода для охлаждения: температура ввода воды: 20-25°C, 200 литров/мин,
Давление воды: 2~3 кг/см2,

Мощность: 3 фазы 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, среднее энергопотребление: 60KW

Площадь установки: (L*W*H) 4400*3200*2950 мм

Выхлоп: вентиляция для механических насосов

Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных сведений, Royal Technology с честью предоставит вам полные решения по покрытию.