Система высоковакуумного напыления CsI950 предназначена исключительно для металлизации CsI и TII на сцинтилляционных экранах в среде чрезвычайно высокого вакуума.Сцинтилляторы CsI толщиной 200～600 мкм с высокой однородностью толщины и яркостью:
сверхвысокое пространственное разрешение изображения;
Быстрый отклик для более четкого изображения;
Лучшие в своем классе области изображения от края до края;
Оптические поглощающие слои или отражающие слои;
Низкая доза рентгеновского излучения пациента.
Применяемые субстраты:Стекло TFT, волоконно-оптическая пластина, пластина из аморфного углерода, алюминиевая пластина
Заявление:для проверки безопасности и инспекции, обучения физике высоких энергий, обнаружения ядерного излучения и медицинских изображений: обследование грудной клетки, мамография, внутриротовое и панорамное стоматологическое обследование.
Технические преимущества
Royal Technology предлагает 2 модели станков: CsI950 и CsI950A+.
Модель CsI950A+ обновлена на базе CsI950 1-го поколения, ее преимущества:
1. Эффективность
-Модель CsI-950A+ имеет двухповоротную структуру стойки на основе модели Generation -one CsI-950.
- Двойная емкость для макс.размер подложки: 500 х 400 мм.
2. Повторяемость и воспроизводимость
-Через высокоточную систему управления параметрами,
- Программное обеспечение и программа для автоматизированного управления технологическими процессами,
-Удобная работа.
3. Надежность
- круглосуточная работа в режиме нон-стоп;
- Контроллер толщины пленки Inficon для контроля толщины пленки на линии.
-Точность контроля температуры: ± 1 ℃, многоступенчатая настройка, автоматическая запись и контроль данных температуры
-Вращающиеся стойки оснащены серводвигателем для высокой точности и стабильности.
4. Безопасность
-Высоковакуумный насос: молекулярный насос с магнитной подвеской, с устройством для продувки газообразным азотом, чтобы избежать попадания опасных материалов в воздух;
-Все электроды снабжены защитными рукавами.
Технические параметры
| Описание | ЦСИ-950 |
ЦСИ-950А+
|
|
Камера осаждения (мм)
|
φ950 x В1350 |
φ950 x В1350
|
| Загрузка поворотных стеллажей | 1 | 2 |
| Источники испарения | 2 |
2
|
| Метод нагрева |
Йодо-вольфрамовая лампа Максимум.1800 ℃ |
Йодо-вольфрамовая лампа Максимум.1800 ℃ |
| Максимальное вакуумметрическое давление (Па) | 8,0×10-5Па | 8,0×10-5Па |
| Молекулярный насос с магнитной подвеской | 1 х 3400 л/с |
1 х 3400 л/с
|
| Насос Рутса | 1 х 490 м³/ч |
1 х 490 м³/ч
|
| Ротационно-лопастной насос | 1 х 300 м³/ч |
1 х 300 м³/ч
|
| Контроллер осаждения | Кварцевый контроль x 1 |
Кварцевый контроль x 1
|
| Потребляемая мощность (кВт) |
Максимум.ок.62 Среднее ок.32 |
Максимум.ок.65 Среднее ок.35 |
Insite
Местонахождение: Китай
