Неравновесные и замкнутые магнетронные процессы имеют все преимущества плоских магнетронов. Дополнительная ионная бомбардировка приводит к плотным, прилипающим пленкам Ионная помощь и очистка подложки ...Взгляд больше
Сообщения посетителяОставьте сообщение
Пока нет комментариев
Система разбрызгивания магнитронов с закрытым полем с несбалансированным полем