Машины для черного покрытия CrN Jet, оборудование для черного покрытия TiCN

Настройка для удовлетворения вашего особого спроса
Стандартизация для снижения производственных затрат
-- Мы больше ориентируемся на приложения
 
2-MultiTech- Черные пленочные покрытия DLC IPG.pdfпожалуйста, загрузите брошюру здесь для получения дополнительной информации
 

Что такое MF-распыление?

По сравнению с напылением постоянным током и ВЧ, среднечастотное напыление стало основным методом напыления тонких пленок для массового производства покрытий, особенно для пленочного осаждения диэлектрических и непроводящих пленочных покрытий на такие поверхности, как оптические покрытия, солнечные панели, многослойные покрытия. , пленка из композитного материала и т. д.
Он заменяет РЧ-распыление, поскольку он работает с частотой кГц, а не МГц, что обеспечивает гораздо более высокую скорость осаждения, а также позволяет избежать отравления мишени во время составного тонкопленочного осаждения, такого как DC.

Мишени для МФ-распыления всегда существовали в двух наборах.Используются два катода с переменным током, переключаемым туда и обратно между ними, который очищает поверхность мишени при каждом перевороте, чтобы уменьшить накопление заряда на диэлектриках, что приводит к искрению, которое может выбрасывать капли в плазму и предотвращать равномерный рост тонкой пленки --- это то, что мы назвали целевым отравлением.
 

Источники отложений
Источники управляемой дуги окружности для испарения твердой металлической мишени;
2/4/6 пар катодов для напыления в виде цилиндра MF для нанесения графитового тонкопленочного слоя;
Источник питания смещения для ионной бомбардировки для формирования плазменной зоны предварительной обработки;
Блок анодного линейного источника ионов (опционально) PACVD и PECVD обработка;
Крионасос (Polycold) для молекулярной конденсации воды (по желанию)

Другие модули
1. Вакуумная камера
2. Вакуумная насосная система для промывки (блок форвакуумного насоса)
3. Высоковакуумная насосная система (молекулярный насос с магнитной подвеской)
4. Электрическая система управления и эксплуатации
5. Система вспомогательных помещений (подсистема)
6. Система напыления: катод для распыления MF, источник питания MF, источник питания смещения Источник ионов для опционального

Производительность лакировочной машины

1. Предельное вакуумметрическое давление: лучше 5,0×10-6Торр.
2. Рабочее давление вакуума: 1,0×10-4Торр.
3. Время откачки: от 1 атм до 1,0×10-4Torr≤ 3 минуты (комнатная температура, сухая, чистая и пустая камера)
4. Металлизирующий материал (напыление + дуговое напыление): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC и др.
5. Операционная модель: полностью автоматический/полуавтоматический/ручной

 
Эти конфигурации являются стандартными, для конкретного развивающегося рынка и новых специальных покрытий, индивидуальные конфигурации и модификации доступны по запросу.
 
 
 
Программа установки вакуумной системы
 

 
 
 
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.