Магнетрон золота Ау брызгая лакировочная машина на кремниевых пластинах, стеклянная вставка, керамические листы
Магнетрон золота Ау брызгая на кремниевых пластинах
Сводка:
Золото брызгая особенности слоя:
1. Биндинг слой необходим для увеличения субстрата и металлопленочного прилипания. Королевская технология начинала ряд созретых покрывая рецептов основанных на различных применениях, поддерживает наших клиентов с профессиональным советом.
2. Шершавость (РМС - середина корня - квадрат) < 40="">
4. Золото брызгая очищенность слоя поверхностная: чистая поверхность необходима для применений которые используют модификации поверхности золота. В зависимости от ПВД обрабатывайте использованный, ровный вакуума в системе, первоначальная очищенность источника золота (над 99,99% вообще)
Ключевые слова: Низложение тонкого фильма нано-структуры золота Ау, магнетрон брызгая, золото брызгая, вакуум тонкого фильма золота ПВД золота металлизируя систему
Применения:
Лаборатория университетов, отдел НИОКР материалов металла изготовляет, пункты обслуживания покрытия вакуума ПВД, главным образом используемые в электронной промышленности как проводной слой и науках для образцов етк микроскопа.
Технические данные:
| МОДЕЛЬ | РТАК0808-СП |
| ТЕХНОЛОГИЯ | ДК брызгая + источник иона (для варианта) |
| МАТЕРИАЛ | Нержавеющая сталь (С304) |
| РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ800*Х800мм |
| ТИП КАМЕРЫ | Цилиндр, вертикаль, 1 дверь |
| РОТОРНАЯ СИСТЕМА ШКАФА | Планетарный/центральный управлять |
| МАТЕРИАЛ НИЗЛОЖЕНИЯ | Золото, алюминий, серебр, медь, Kроме, нержавеющая сталь, никель, титан |
| ИСТОЧНИК НИЗЛОЖЕНИЯ | Цилиндрические/плоскостные катоды брызгать: 2 или 3 для источников дуги оптион.+ 3 |
| РЕАКТИВНОЕ УПРАВЛЕНИЕ ГАЗА | МФК, 2/4 путей |
| КОНТРОЛЬ | ПЛК (Программабле регулятор логики) + Экран касания |
| НАСОСНАЯ СИСТЕМА | СВ300Б - 1 ³/хр набора (Лейболд) 300м |
| Насос корней - 1 набор, 150Л/С | |
| Держащ насос - 1 набор, ³/хр 60м | |
| Насос Турбо молекулярный: - 1 набор, 3500Л/С | |
| ЭЛЕКТРОПИТАНИЕ |
Косое электропитание: КВ 1*24 ДК брызгая сила: 2*24КВ |
| СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и оборудование |
| ОХЛАЖДАТЬ | Повторно используйте охлажденную воду |
| НАГРЕВАТЬ | Подогреватели, 9КВ |
| СИЛА ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ | 480В/3 фасес/60ХЗ (США уступчивые) |
| 460В/3 фасес/50ХЗ (Азия уступчивая) | |
| 380В/3 фасес/50ХЗ (ЭУ-КЭ уступчивое) | |
| СЛЕД НОГИ | Л3200*В2600*Х2000мм |
| ПОЛНЫЙ ВЕС | 3,0 т |
| ВРЕМЯ ЦИКЛА | 30~40 минут (в зависимости от материала субстрата, геометрия и условия окружающей среды субстрата) |
| СИЛА МАКСИМАЛЬНАЯ. | 50КВ |
| ПОТРЕБЛЕНИЕ СРЕДНЕЙ МОЩНОСТИ (ПРИБЛИЗИТЕЛЬНО) | 20КВ |
Вафли плакировкой золота ПВД
Пожалуйста свяжитесь мы для больше спецификаций, королевская технология удостаивает для того чтобы обеспечить вам полные решения покрытия.
