Система вакуумного напыления PVD+PECVD, покрытие фильма DLC процессом PECVD

Королевская технология Multi950
Машина для вакуумного осаждения PVD + PECVD

Машина Multi950 - это индивидуальная многофункциональная вакуумная осадочная система для НИОКР.

После интенсивного обмена мнениями с командой Шанхайского университета во главе с профессором Ченом мы, наконец, подтвердили дизайн и конфигурацию для выполнения их исследований и разработок.Эта система способна откладывать прозрачную пленку DLC с процессом PECVDОсновываясь на этой концепции пилотного машиностроения, мы разработали 3 других системы покрытия:

1. Биполярное покрытие пластин для электромобилей на топливных элементах- FCEV1213

2Керамическая прямая покрытая медь- DPC1215

3Гибкая система распыливания - система золотой покрытия медных ПКБ

Все эти три машины имеют восьмиугольную камеру, что позволяет гибко и надежно работать в различных приложениях.,Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS и многие другие неферромагнитные металлы.эффективно повышает адгезию пленок на различные материалы подложки благодаря своей эффективности плазменного офорта и, процесс PECVD для отложения некоторых слоев на основе углерода.

Multi950 - это веха передовых систем покрытия для Royal Technology.Спасибо студентам Шанхайского университета и профессору Йиган Чэнь, ведущим их своей творческой и самоотверженной преданностью., мы смогли превратить его ценную информацию в современную машину.

В 2018 году у нас был еще один проект сотрудничества с профессором Ченом,
осаждение материала С-60 методом индуктивного теплового испарения.
Г-н Йиму Янг и профессор Чэнь сыграли важную роль в этих инновационных проектах.

Технические преимущества

• Компактный след
• Стандартный модульный дизайн
• Гибкий
• Надежность
• Структура восьмиугольной камеры
• 2-дверная структура для легкого доступа
• Процессы PVD + PECVD

Особенности конструкции

1Гибкость: дуговые и распыляющие катоды, ионные источники монтажных фланцев стандартизированы для гибкого обмена

2- универсальность: может откладывать различные обычные металлы и сплавы; оптические покрытия, твердые покрытия, мягкие покрытия,сложные пленки и твердые смазочные пленки на металлических и неметаллических материалах

3Простая конструкция: структура с двумя дверями, передний и задний отверстия для легкого обслуживания

Технические спецификации

Модель: Multi-950

Камера отложения (мм)

Диаметр x высота: φ950 x 1350

Источники осаждения: 1 пара MF распыляющих катодов

1 пара PECVD

8 комплектов дуговых катодов

1 набор Линейного источника ионов

Зона однородности плазмы (мм): φ650 x H750

Карусель: 6 xφ300

Мощности (КВт): 1 x 36

Мощность распыливания MF (KW): 1 x 36

PECVD (KW): 1 x 36

Протяженность дуги (KW): 8 x 5

Ионный источник (KW): 1 x 5

Система управления газом MFC: 4 + 1

Система отопления: 18 кВт, до 500°С, с управлением тепловой парой PID

Высоковакуумный клапан: 2

Турбомолекулярный насос: 2 x 2000L/S

Корневой насос: 1 x 300 л/с

Насос на вращающиеся лопатки: 1 х 90 м3/ч + 1 х 48 м3/ч

Отпечаток (L x W x H) мм: 3000 * 4000 * 3200

Общая мощность (КВт): 150

Дизайн