Королевская технология Multi950
—— Машина для вакуумного напыления PVD + PECVD
Машина Multi950 представляет собой специализированную многофункциональную систему вакуумного напыления для исследований и разработок.
После интенсивных обменов мнениями с командой Шанхайского университета под руководством профессора Чена мы, наконец, подтвердили дизайн и конфигурацию для выполнения их приложений для исследований и разработок.Эта система способна наносить прозрачную DLC-пленку с помощью процесса PECVD, твердые покрытия на инструменты и оптическую пленку с распыляющим катодом.Основываясь на этой концепции конструкции экспериментальной машины, мы впоследствии разработали 3 другие системы покрытий:
1. Биполярное покрытие для электромобилей на топливных элементах — FCEV1213
2. Керамическая медь с прямым покрытием - DPC1215
3. Гибкая система напыления - система золочения медных печатных плат.
Все эти 3 машины имеют восьмиугольную камеру, что обеспечивает гибкую и надежную работу в различных областях применения.Он удовлетворяет процессам нанесения покрытия и требует множества различных металлических слоев: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS и многих других неферромагнитных металлов.Кроме того, блок источника ионов эффективно улучшает адгезию пленок к различным материалам подложки благодаря характеристикам плазменного травления и процессу PECVD для осаждения некоторых слоев на основе углерода.
Multi950 является вехой передовых систем покрытий для Royal Technology.Благодаря студентам Шанхайского университета и профессору Игангу Чену, возглавлявшему их с его творческой и самоотверженной самоотверженностью, мы смогли преобразовать его ценную информацию в современную машину.
В 2018 году у нас было еще одно проектное сотрудничество с профессором Ченом,
нанесение материала С-60 методом индукционного термического испарения.
Г-н Имоу Ян и профессор Чен сыграли фундаментальную роль в этих инновационных проектах.
Технические преимущества
Особенности дизайна
1. Гибкость: Дуговые и распылительные катоды, монтажные фланцы источника ионов стандартизированы для гибкой замены.
2. Универсальность: он может наносить различные основные металлы и сплавы;оптические покрытия, твердые покрытия, мягкие покрытия, составные пленки и твердые смазочные пленки на подложках из металлических и неметаллических материалов
3. Простая конструкция: 2-дверная конструкция, переднее и заднее открывание для удобства обслуживания.
Технические характеристики
Модель: Мульти-950
Камера осаждения (мм)
Диаметр x высота: φ950 x 1350
Источники осаждения: 1 пара катодов для распыления MF.
1 пара PECVD
8 комплектов дуговых катодов
1 комплект линейного источника ионов
Зона однородности плазмы (мм): φ650 x H750
Карусель: 6 xφ300
Мощность (кВт) Смещение: 1 x 36
Мощность распыления MF (кВт): 1 x 36
PECVD (кВт): 1 x36
Дуга (кВт): 8 х 5
Источник ионов (кВт): 1 x 5
Система управления газом MFC: 4 + 1
Система отопления: 18 кВт, до 500 ℃, с ПИД-регулированием тепловой пары
Задвижка высокого вакуума: 2
Турбомолекулярный насос: 2 x 2000 л/с
Насос Рутса: 1 х 300 л/с
Ротационно-лопастной насос: 1 x 90 м³/ч + 1 x 48 м³/ч
След (Д х Ш х В) мм: 3000 * 4000 * 3200
Общая мощность (кВт): 150
Макет
Время постройки: 2015 г.
Местонахождение: Шанхайский университет, Китай