|
| Наименование марки: | ROYAL |
| Номер модели: | РТАК1215-СП |
| MOQ: | 1 комплект |
| цена: | обсуждаемый |
| Способность к поставкам: | 6 комплектов в месяц |
Завод по нанесению покрытий Ni PVD, система вакуумной металлизации Cr, оборудование для вакуумного покрытия Sn / Ag, завод по меднению
Структура оборудования:
Установка RTAC1215-SP представляет собой восьмиконтурную установку, состоящую из вакуумных насосов, вакуумной камеры, в которой установлены 8 дуговых катодов, 1 линейный источник ионов, 2 комплекта катодов для распыления постоянным током и 1 пара катодов для распыления MF.Источник ионов, распыляющие катоды, установленные фланцы, являются стационарными, которые можно гибко заменять в зависимости от требований процесса нанесения покрытия.
Приложения:
1. Индустрия DPC для керамических уплотнительных деталей, процесс DPC, система напыления меди PVD, светодиодные керамические чипы с медным покрытием, Al2О3, Керамические печатные платы AlN, Пластины Al2O3 на светодиодах, Полупроводник
2. Металлические пленки серебра, никеля, хрома, золота, алюминия, In, Sn и т. Д., TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN и т. Д.
Преимущества:
1. Экономичное производство
2. Гуманизация рабочего места (эргономичный дизайн рабочего места, минимизация пространства, шума и опасности несчастного случая)
3. Высокое качество урожая.
4. Сильная адгезия с мощным устройством нагрева и очисткой источника плазмы;
5. Компактный дизайн и легкий доступ для модернизации и технического обслуживания.
6. Полная автоматизация, ПЛК+сенсорный экран, система управления одним касанием.
7. Высокая эффективность при меньшем энергопотреблении, макс.50% экономия производственных затрат.
Технические характеристики:
1. Предельное вакуумметрическое давление: лучше 9,0*10-5Па;
3. Время откачки: от атм до 1,0×10-3Pa≤15 минут (комнатная температура, сухая, чистая и пустая камера)
4. Источник осаждения: Магнетронные распыляющие катоды Gencoa, управляемые дуговые катоды, ионный источник
5. Операционная модель: полностью автоматический/полуавтоматический/ручной
6. Нагрев: от комнатной температуры до макс.500 ℃,
9. Источник ионов для процессов PECVD и PA PVD.
Вакуумная лакировальная машина содержит ключевую завершенную систему, указанную ниже:
1. Вакуумная камера
1.1 Размер: внутренний диаметр: 1200 мм
Внутренняя высота: 1500 мм
1.2 Материал: вакуумная камера SUS304
Дверь и фланцы SUS304
Структура усиления камеры: мягкая сталь SS41 с окрашенной отделкой поверхности.
Шасси камеры из мягкой стали SS41 с окрашенной отделкой поверхности.
1.3 Камера защиты: SUS304
1.4 Смотровое окно: 2 на двери
1.5 Вентиляционный клапан вакуумной камеры (включая глушитель)
1.6 Дверь: материал SUS304
2. Система черновой вакуумной откачки:
Масляный пластинчато-роторный вакуумный насос + удерживающий насос
Молекулярный насос с магнитной подвеской - 2 комплекта
4. Электрическая система управления и эксплуатации- PLC+ Touch ScreenОперационная система:
Поставщики:
ПЛК: Mitsubishi + сенсорный экран (Сделано в Китае)
Электронные компоненты: SCHNEIDER, OMRON.
Система защиты безопасности:Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и оборудования (вода, текущий газ, температура и т. д.)
Система процессов нанесения покрытий: Автоматизация и управление процессами.
4.1 Основная цепь: выключатель без предохранителя, электромагнитный выключатель, последовательно включенный C/T.
4.2 Источник питания: мощность распыления постоянного/многочастотного тока + мощность дуги постоянного тока + источник питания смещения
4.3 Система контроля отложений
4.4 Операционная система: сенсорный экран + ПЛК, управление рецептами и регистрация данных, автоматическое отключение, автоматическая эвакуация, автоматическое покрытие
4.5 Измерительная система
Вакуумметр: Вакуумметр: Пирани + Пеннинг манометр + Полнодиапазонный вакуумметр -- Европейский бренд
Устройство измерения температуры: Термопара
MFC: регулятор массового расхода (4 направления),
4.6 Система сигнализации: давление сжатого воздуха, поток охлаждающей воды, неправильная работа
4.7 Индикатор силовой нагрузки: индикатор напряжения и индикатор тока нагрузки
5.Система осаждения
5.1 Источник осаждения: распыляющие катоды + дуговые источники + ионный источник
5.2 Материал для осаждения: медь, алюминий, хром, серебро, золото, нержавеющая сталь, титан и т. д.
6.Подсистема
6.1 Система управления клапаном сжатого воздуха
6.2 Система водяного охлаждения: водопроводная труба и система переключающих клапанов
Сжатый воздух: 5~8кг/см2
Охлаждающая вода: Температура воды на входе: 20~25℃, 200 л/мин,
Давление воды: 2~3 кг/см2,
Мощность: 3 фазы 380 В, 50 Гц (60 Гц), 130 кВА, средняя потребляемая мощность: 60 кВт.
Зона установки: (Д*Ш*В) 4400*3200*2950мм
Выхлоп: Вентиляционное отверстие для механических насосов
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology поможет вам с комплексными решениями для покрытий.
