Лакировочная машина тонкого фильма PECVD, плазма источника иона увеличила систему низложения PVD
Почему мы?
Предварительные machineries продукции (филирующ, сваривать, резать, испытание утечки вакуума) совмещенные с унифицированными процедурами по продукции и строгими тестами позволяют королевская технология произвести системы высококачественных, надежных и низкой цены покрытия.
Качество, обслуживание и своевременная доставка принципы ядра дела королевской технологии. Стратегия открыто аутсорсинга простые компоненты к профессионалу изготовляют позволяет нам сфокусировать внимание к НИОКР ключевых частей и компонентов, производству.
Строгие политики проверки качества и неукоснительный выбор квалифицированных поставщиков уверяют клиентов королевской технологии получают большинств предварительную, лидирующую качественную цену оборудования самое большее доступную.
Основная технология как произвести электрическую энергию с модулем силы отсека топливного бака через электрохимическую реакцию между водоподом как топливо и кислородом.
Отсек топливного бака как самая ключевая важная часть модуля силы, ученые водопода, инженеры, профессора от организаций транспорта и всемирных кораблей изготовляет делал тесты тысяч и в конце концов нашел свойственная обработка.
100% envrionmetally дружелюбных технологий и vechiles.
Наша модель машины RTSP1200 исключительно конструирована и начата для этого appliation. Мы объединили с Шанхаем Jiaotong Unversity и SAIC Мотор Корпорация ограничивали компанию.
Модуль силы отсека топливного бака водопода брызгая система с технологией PECVD (увеличенного плазмой низложения химического пара) для того чтобы депозировать высокое единообразие, фильмы SiC сильного прилипания тонкие.
Отсек топливного бака водопода брызгая машина содержит unblanced источник иона, сбалансированный/брызгающ катоды; с насосной системой стабилизированного и большого вакуума тома.
Модуль силы отсека топливного бака водопода брызгая спецификации системы
| МОДЕЛЬ | RTSP1200 | |||||||||
| МАТЕРИАЛ | Нержавеющая сталь (S304) | |||||||||
| РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1200*1300mm (h) | |||||||||
| ТИП КАМЕРЫ | Структура дверей фронта и задней части 2, вертикаль | |||||||||
| ОДИНОЧНЫЙ ПАКЕТ НАСОСА | Вакуумный насос роторного поршеня | |||||||||
| Вакуумный насос корней | ||||||||||
| Насос магнитного подвеса молекулярный | ||||||||||
| Роторный насос лопасти (держа насос) | ||||||||||
| ТЕХНОЛОГИЯ | Магнетрон брызгая, источник иона PECVD | |||||||||
| ЭЛЕКТРОПИТАНИЕ | Брызгающ электропитание + косые электропитание + источник иона | |||||||||
| ИСТОЧНИК НИЗЛОЖЕНИЯ | 2 пары DC/RF брызгая катоды + (2 пары запасные используя) + источник иона | |||||||||
| КОНТРОЛЬ | Экран PLC+Touch | |||||||||
| ГАЗ | Измерители прокачки массы газа (Ar, N2, C2H2, O2ий) аргон, азот и Ethyne, кислород | |||||||||
| СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и оборудования | |||||||||
| ОХЛАЖДАТЬ | Охлажденная вода | |||||||||
| ЧИСТКА | Источник газосветных/иона | |||||||||
| СИЛА МАКСИМАЛЬНАЯ. | 150KW | |||||||||
| ПОТРЕБЛЕНИЕ СРЕДНЕЙ МОЩНОСТИ | 75KW |
|||||||||
Особенная конструированная система шкафа и джига может принять вне-движение в совершенно для нагружать субстратов удобный/разгружая.
Пожалуйста свяжитесь мы для больше спецификаций, королевская технология удостаивает для того чтобы обеспечить вам полные покрывая решения.
