Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000

Осаждение танталя, Золото драгоценные металлы путем распыливания 

Спутринг широко используется для отложения огнеупорных металлов, таких как тантал, титан, вольфрам,Ниобий, который требует очень высоких температур осаждения, и драгоценные металлы: золото и серебро, которые также используются для отложения металлов с низкой температурой плавления, таких как медь, алюминий, никель, хром и т. д.

Тантал чаще всего используется в электронной промышленностькак защитное покрытие из-за его хорошей устойчивости к эрозии.

Пленки с распыленным танталом широко используются в
1- микроэлектронная промышленность, поскольку пленки могут быть реактивно распылены и, таким образом, сопротивляемость и температурный коэффициент сопротивления могут контролироваться;

2Медицинские инструменты, такие как имплантаты для тела, благодаря их высокой биосовместимости;

3. покрытия на коррозионностойких деталях, таких как термоуборы, корпуса клапанов и крепежные элементы;

4.Тантал, распыляемый, также может использоваться в качестве эффективного барьера для коррозионной стойкости, если покрытие непрерывное, дефектное и прилипает к субстрату..

Королевская технология’Стандартная система отложения танталом с помощью распыливания: модель RTSP1000.
 Свойства пленки, распыляемой танталом:
Низкое сопротивление

Высококоррозионные и износоустойчивые покрытия поверхности, подвергаются высокому напряжению и суровой химической и эрозионной среде. 

Конструктивные особенности:

Прочный дизайн, стабильное качество, быстрый цикл, высокая точность системы

Структура оборудования:

Структура системы покрытия: вертикальная ориентация, восьмиугольная структура, 2 двери для легкого доступа.

Экологически чистая система, без опасных отходов.

Полная интеграция, модульный дизайн
Коммерциализирован и стандартизирован для промышленного массового производства
Чрезвычайно эффективный ионный источник для сильной адгезии и высокой ионизации.
Простая работа: сенсорный экран + управление PLC, одна сенсорная операция
Специальная конструкция системы карусели для высокой однородности отложения.
Высокая производительность и стабильность, работа 24 часа в сутки.
Гибкий, подходит для различных размеров пластинок

Ключевые компоненты

Ионный источник для процесса вспомогательного депонирования:

Ионный источник для процесса плазменного итехирования:

Машина RT1200-FCEV представляет собой систему распыливания, которая может откладывать различные твердые покрытия, мягкие покрытия,сложные пленки и твердые смазочные пленки на металлических и неметаллических материалахПрименяется в промышленности водородных топливных элементов транспортных средств, фотонических изделий, аэрокосмической и других новых энергетических отраслей.

Использование отложения пленки:

Для улучшения проводимости поверхности;

высокая коррозионная стойкость;

Высокая износостойкость;

Высокая твердость

Гидрофобная композиционная пленка и другие функциональные пленки

Доступен для сложных покрытий: металлических и неметаллических пленок.

Диапазон толщины пленки от 100nm до 12μm, допустимость толщины ± 5%

Сильное сцепление.

Обработка поверхностного закаливания низкотемпературных деталей.

Тип:

Вертикальная ориентация, октальная структура, 2-дверная (передняя и задняя)

Преимущества конструкции:

• Экологически безопасная система, отсутствие промышленных сточных вод, загрязнения воздуха и шума;
• Простая работа: сенсорный экран + управление PLC и уникальная программная программа для одной сенсорной операции, более 80% тревога о сбоях.
• До 10 рецептов обработки входа и резервного копирования; высокая повторяемость и разнообразие.
• Специальная конструкция системы карусели для высокой однородности отложения пленки.
• Высокая производительность и высокое качество
• Стабильная и надежная система, работающая 365 дней * 24 часа (время перерыва на обслуживание и ремонт)
• Эффективная насосная система: более короткие вакуумные трубопроводы для максимальной скорости трубопроводов с известными европейскими марками насосов
• Компактная конструкция занимает минимальное пространство для установки.

Команда Royal Tech гордится тем, что смогла предоставить вам лучший сервис и знания.